[實用新型]濕式蝕刻機機臺用浸泡槽結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520515914.1
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN204792722U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發(fā)明（設計）人: 黃于維
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申浩律師事務所 31280
• 代理人: 樂衛(wèi)國

技術領域

本實用新型涉及一種濕式蝕刻機領域，具體來說涉及一種濕式蝕刻機機臺用浸泡槽結構。

背景技術

在WETetching（濕式蝕刻）進行蝕刻時，在同一機臺腔體內，為了讓蝕刻出來的輪廓角度較小，常常會使用噴淋與浸泡的蝕刻模式切換，以達到工藝上的需求。

圖1是目前在濕式蝕刻機機臺的設計，虛線內的浸泡槽包括槽底1和側邊2，槽底上設置有藥液進入孔（圖中未標示），槽底1位于傳送軸3的下方，浸泡模式工作時，藥液在泵的作用下，從藥液進入孔進入浸泡槽內，并覆蓋傳送軸上的玻璃基板及玻璃基板上的被蝕刻件。通常設計者為了考量機臺中傳送軸維修的便利性，浸泡槽的槽底1與傳送軸3之間預留的空間較為空曠，當蝕刻模式由噴淋模式切換至浸泡模式時，因藥液需要將浸泡槽的體積填滿后，浸泡模式才會穩(wěn)定(藥液完全覆蓋玻璃基板)，故所需要的穩(wěn)態(tài)時間較長,一般在六秒以上。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供一種濕式蝕刻機機臺用浸泡槽結構，以減少由噴淋模式切換至浸泡模式的穩(wěn)態(tài)時間。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

濕式蝕刻機機臺用浸泡槽結構，包括槽底和側邊，所述槽底位于基板傳送軸的下方，側邊的上端面高度高于基板傳送軸，其特征在于，所述槽底設置有用以減少浸泡槽內部空余體積來減少覆蓋基板所需藥液量的填充件，所述填充件位于基板傳送軸下方。

優(yōu)選的，所述槽底為平底結構。進一步，所述填充件為長方體式結構。

優(yōu)選的，所述槽底為“V”字型結構。進一步，所述填充件為截面是三角形的立體結構。或者，所述填充件共有兩個，均為截面是直角梯形的立體結構，兩個填充件分別設置在槽底的兩邊。

優(yōu)選的，所述填充件為空心結構。

優(yōu)選的，所述填充件為實心結構。

優(yōu)選的，所述填充件為高度可調節(jié)的伸縮結構。進一步，所述填充件由若干層堆迭的盒子組成，若干層堆迭的盒子通過連接件連接，所述若干層堆迭的盒子的尺寸依次變大/小。進一步，填充件包括下部的固定部分和上部的可充氣部分，所述可充氣部分與固定部分之間粘接。

本實用新型通過在浸泡槽內設置有填充件，用以減少浸泡槽內部空余體積，從而來減少覆蓋基板所需藥液量，減少由噴淋模式切換至浸泡模式時，所需要的穩(wěn)態(tài)時間，降低蝕刻的變異性。

填充件采用高度可調節(jié)的伸縮結構，當需要基板傳送軸需要維修時，降低填充件的高度，滿足基板傳送軸維修時的空間需求。

本實用新型的特點可參閱本案圖式及以下較好實施方式的詳細說明而獲得清楚地了解。

附圖說明

圖1為現有技術中濕式蝕刻機機臺內的浸泡槽示意圖。

圖2為本實用新型在實施例中的示意圖。

圖3為實施例中填充件的放大示意圖。

圖4為實施例中填充件的另一種結構的示意圖。

圖5為實施例中填充件通過連接件堆迭的狀態(tài)示意圖。

圖6為實施例中取下連接件后填充件的狀態(tài)示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施例進一步闡述本實用新型。

參見圖2，濕式蝕刻機機臺用浸泡槽結構，包括槽底10和側邊20，槽底10位于基板傳送軸30的下方，側邊的上端面高度高于基板傳送軸。這些為現有結構，在此不再詳述。

槽底設置有填充件40，用以減少浸泡槽內部空余體積，從而來減少覆蓋基板所需藥液量。填充件位于基板傳送軸下方。在本實施例中，槽底為“V”字型結構。填充件共有兩個，均為截面為直角梯形的立體結構，兩個填充件分別設置在槽底的兩邊，如圖3所示。當然，填充件也可以選用截面是三角形的立體結構。

參見圖4，浸泡槽的槽底為平底結構。填充件選用長方體式結構41。

這里所說的填充件可以是空心結構也可以選用實心結構。

本實用新型通過在浸泡槽內設置有填充件，用以減少浸泡槽內部空余體積，從而來減少覆蓋基板所需藥液量，減少由噴淋模式切換至浸泡模式時，所需要的穩(wěn)態(tài)時間，降低蝕刻的變異性。

需要指出的是，為了便于基板傳送軸的維修，填充件選用高度可調節(jié)的伸縮結構。參見圖5，填充件40由若干層堆迭的盒子42組成，若干層堆迭的盒子通過連接件（高度調節(jié)螺絲43）連接，若干層堆迭的盒子的尺寸依次變大/小。在維修時，可將高度調節(jié)螺絲43取下，盒子堆迭在一起，如圖6所示，則此填充件高度降低，滿足維修所需的空間。

或者，填充件包括下部的固定部分和上部的可充氣部分，可充氣部分與固定部分之間粘接。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內。本實用新型要求的保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。