[實用新型]一種單晶硅頭尾料破碎裝置

有效

• 申請號: 201520515599.2
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN204779913U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 王新;令狐鐵兵;劉要普;李京濤;方麗霞;史舸
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

1.一種多晶硅頭尾料破碎裝置，其特征是：所述的一種多晶硅頭尾料破碎裝置，主要是由箱體（1）、四氟護板（2）、壓空管道（3）、壓空閥門（4）、液氮管道（5）、液氮閥門（6）、排氣口（7）、噴灑盤（8）構成；其中箱體（1）上有帶有鎖緊和密封功能的門，箱體（1）的內壁鑲嵌有四氟護板（2）；箱體（1）與四氟護板（2）之間填有保溫材料（9）；箱體（1）的頂部開有2個圓形的排氣口（7），箱體（1）頂部中間位置連接有液氮管道（5），液氮管道（5）的上部裝有液氮閥門（6），液氮管道（5）的底部裝有噴灑盤（8），噴灑盤（8）是在箱體（1）的內部；箱體（1）的下部一側連接有壓空管道（3），壓空管道（3）上裝有壓空閥門（4）。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅頭尾料破碎裝置，其特征是：噴灑盤（8）上的中心位置設有噴灑孔（10）。