[實用新型]一種單晶硅頭尾料破碎裝置

有效

• 申請號: 201520515599.2
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN204779913U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 王新;令狐鐵兵;劉要普;李京濤;方麗霞;史舸
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術領域

本實用新型屬于直拉法硅單晶生產技術領域，主要涉及一種單晶硅頭尾料破碎裝置。

背景技術

通常單晶棒的頭部和尾部因晶體參數不合格或晶體存在缺陷等原因導致不能使用，從單晶棒上切下形成的頭尾料，這些頭尾料能夠重新用于硅單晶的生長。單晶硅頭尾料的直徑通常在5~8英寸，因此在裝入石英坩堝前需要把單晶硅頭尾料破碎。通常的破碎方法是在一個金屬容器內或者在平臺上用金屬錘敲擊單晶硅頭尾料，使單晶硅頭尾料破碎。這種破碎方法的缺點是：（1）在金屬錘敲擊過程中極易導致單晶硅頭尾料金屬沾污；（2）在敲擊力的作用下，單晶硅頭尾料會沿一定的解離面破裂，這樣破碎后的頭尾料邊沿非常鋒利，容易劃傷手，并且不易包裝；（3）在敲擊過程中，會產生大量的硅顆粒和粉末，污染周邊環境，同時危害員工身體健康；（4）此種破碎方法費事費力，工作效率低下。

實用新型內容

鑒于現有單晶硅頭尾料破碎過程中所存在的問題，本實用新型設計了一種單晶硅頭尾料破碎裝置，以解決目前破碎技術中所存在的問題，并可以做到操作簡單、高純潔凈、安全高效。

為實現上述發明目的，本實用新型所采取的具體技術方案是：一種單晶硅頭尾料破碎裝置，主要是由箱體、四氟護板、壓空閥門、壓空管道、排氣口、液氮閥門、液氮管道、噴灑盤構成；其中箱體上有帶有鎖緊和密封功能的門，箱體的內壁鑲嵌有四氟護板進行屏蔽，防止金屬沾污；箱體和四氟板之間有保溫材料；箱體的頂部開有2個圓形的排氣口，箱體頂部中間位置連接有液氮管道，液氮管道的上部裝有液氮閥門，液氮管道底部裝有噴灑盤，噴灑盤是在箱體內；箱體的下部一側連接有壓空管道，壓空管道上裝有壓空閥門。所述的一種單晶硅頭尾料破碎裝置，其中噴灑盤上的中心位置開有圓形噴灑孔。

本實用新型所述的一種單晶硅頭尾料破碎裝置，通過將需要破碎的單晶硅頭尾料放入箱體中，將一定量的液氮經過噴灑盤的噴灑孔噴灑到單晶硅頭尾料上，液氮的汽化使單晶硅頭尾料迅速降至極低的溫度，用塊狀多晶硅料輕輕敲擊單晶硅頭尾料，即能將單晶硅頭尾料破碎。本實用新型操作簡便，高純潔凈，安全可靠，有效的解決了現有破碎方法所存在的不足。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型圖1的俯視圖；

圖中：1、箱體；2、四氟護板；3、壓空管道；4、壓空閥門；5、液氮管道；6、液氮閥門；7、排氣口；8、噴灑盤；9、保溫材料；10、噴灑孔。

具體實施方式

下面結合附圖給出本實用新型的具體實施方式如下：

如圖1、圖2所示，本實用新型所述的一種單晶硅頭尾料破碎裝置，主要是由箱體1、四氟護板2、壓空管道3、壓空閥門4、液氮管道5、液氮閥門6、排氣口7、噴灑盤8構成；其中箱體1上帶有鎖緊和密封功能的門，箱體1的內壁鑲嵌有四氟護板2進行屏蔽，防止金屬沾污；箱體1和四氟板2之間有保溫材料9；箱體1的頂部開有2個圓形的排氣口7，箱體1頂部中間位置連接有液氮管道5，液氮管道5的上下兩端分別裝有液氮閥門6和噴灑盤8，噴灑盤8在箱體1內部，噴灑盤8上的中心位置開有圓形噴灑孔10；箱體1下部一側裝有壓空管道3，壓空管道3上裝有壓空閥門4。本實用新型在使用時，將需要破碎的單晶硅頭尾料放入箱體1中，鎖緊箱體1的門后打開壓空閥門4，將箱體1內的水分置換干凈后關閉壓空閥門4，再打開液氮閥門6，將一定量的液氮經過液氮管道5下部噴灑盤8的噴灑孔10噴灑到單晶硅頭尾料上。通過液氮的汽化使單晶硅頭尾料迅速降至極低的溫度，汽化形成的氮氣通過排氣口7排出。汽化過程結束后，打開箱體1的門，用塊狀多晶硅料輕輕敲擊單晶硅頭尾料，即能將單晶硅頭尾料破碎。再打開壓空閥門4，使用壓空加速箱體1中氣體置換，使破碎后的頭尾料逐漸升溫至室溫，同時能夠避免頭尾料凝結水珠。