[實用新型]用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置

有效

• 申請號: 201520512500.3
• 申請日: 2015-07-15
• 公開（公告）號: CN204824150U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 涂夏明;張輝;屈杰;陳斌;寇文勇;張俊峰
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: C01B7/07
• 分類號: C01B7/07
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 宋秀珍

技術領域

本實用新型屬多晶硅制造技術領域，具體涉及一種用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置。

背景技術

多晶硅是制造集成電路、光伏太陽能電池等產品的關鍵基礎材料，是發展信息產業和光伏新能源產業的重要基石。在多晶硅生產過程中，利用CDI技術分離提純還原和轉化出來的尾氣，將尾氣中的氯化氫、氫氣和氯硅烷分離并分別返回系統中重新再利用。在正常情況下，分離產生的純度為99％的氯化氫送至TCS合成單元作為原料使用，但由于技術和設備的原因，尤其是當TCS合成出現故障時，這部分高純的氯化氫被作為廢氣直接排掉，而這種方式一方面會造成資源的浪費，使整個系統的氯耗增加，另一方面也會對環境造成嚴重污染，威脅人身健康。因此有必要提出改進。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題：提供一種用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，將氯化氫氣體在多級降膜吸收器內與水或稀鹽酸進行多級循環吸收增濃，實現了回收氯化氫并用其制取鹽酸的目的，既保障多晶硅生產中還原、轉化和尾氣回收單元的正常運行，又能提高氯化氫的回收利用率，減少對環境的污染，降低生產成本。

本實用新型采用的技術方案：用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，包括緩沖罐，所述緩沖罐的進口與多晶硅生產中用于排放氯化氫氣體的氣體管道連接，所述緩沖罐的出口通過管道Ⅰ與淋洗塔連通，所述淋洗塔通過管道Ⅱ與一級降膜吸收器連通，所述一級降膜吸收器通過氣相管Ⅰ和液相管Ⅰ與二級降膜吸收器連通，所述二級降膜吸收器通過氣相管Ⅱ和液相管Ⅱ與三級降膜吸收器連通，所述三級降膜吸收器通過氣相管Ⅲ和液相管Ⅲ與尾氣噴淋塔連通，所述一級降膜吸收器還與濃酸儲槽連接，所述氯化氫氣體通過多級降膜吸收器吸收增濃后形成的濃鹽酸排入濃酸儲槽內存儲，所述氯化氫氣體通過多級降膜吸收器吸收后的尾氣從尾氣噴淋塔的頂部排放。

其中，所述淋洗塔通過管線連接有噴淋泵。

進一步地，所述一級降膜吸收器底部設有濃酸中間槽，所述一級降膜吸收器和濃酸中間槽之間通過管道連接有濃酸循環泵和循環水換熱器，所述濃酸循環泵的出口通過外排閥與濃酸儲槽連通。

進一步地，所述尾氣噴淋塔的底部設有稀酸中間槽，所述稀酸中間槽和尾氣噴淋塔之間通過管道連接有稀酸循環泵，所述尾氣噴淋塔通過氣相管Ⅲ與三級降膜吸收器的頂部連通，所述尾氣噴淋塔底部通過兩支液相管Ⅲ(604)分別與稀酸中間槽和三級降膜吸收器連通。

進一步地，所述尾氣噴淋塔與三級降膜吸收器相連接的液相管Ⅲ上設有控制閥。

本實用新型與現有技術相比的優點：

1、本實用新型將多晶硅生產中排出的氯化氫氣體通過多級降膜吸收器進行多級循環吸收增濃，實現了高效率回收氯化氫并將其制取鹽酸的目的，保障多晶硅生產中還原、轉化和尾氣回收單元的正常運行，提高氯化氫的回收利用率，減少環境污染，降低生產成本；

2、利用緩沖罐對氯化氫氣體起到暫存和緩沖的作用；

3、在淋洗塔上連接噴淋泵，可使淋洗塔內的噴淋水循環噴淋使用；

4、在一級降膜吸收器和濃酸中間槽設循環水換熱器，使濃酸循環泵輸送出的噴淋水進行降溫，移走氯化氫氣體溶解放出的熱量，提高氯化氫在水中的溶解度；

5、本實用新型中噴淋水是在重力流的作用下，依次從尾氣噴淋塔、三級降膜吸收器、二級降膜吸收器和一級降膜吸收器逐漸吸收增濃，最后進入濃酸儲槽儲存使用，從而降低整個系統的能耗。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖1描述本實用新型的實施例。