[實用新型]用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置

有效

• 申請號: 201520512500.3
• 申請日: 2015-07-15
• 公開（公告）號: CN204824150U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 涂夏明;張輝;屈杰;陳斌;寇文勇;張俊峰
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: C01B7/07
• 分類號: C01B7/07
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 宋秀珍

1.用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，其特征在于：包括緩沖罐(1)，所述緩沖罐(1)的進口(101)與多晶硅生產中用于排放氯化氫氣體的氣體管道連接，所述緩沖罐(1)的出口(102)通過管道Ⅰ(103)與淋洗塔(2)連通，所述淋洗塔(2)通過管道Ⅱ(202)與一級降膜吸收器(3)連通，所述一級降膜吸收器(3)通過氣相管Ⅰ(304)和液相管Ⅰ(401)與二級降膜吸收器(4)連通，所述二級降膜吸收器(4)通過氣相管Ⅱ(402)和液相管Ⅱ(501)與三級降膜吸收器(5)連通，所述三級降膜吸收器(5)通過氣相管Ⅲ(502)和液相管Ⅲ(604)與尾氣噴淋塔(6)連通，所述一級降膜吸收器(3)還與濃酸儲槽(7)連接，所述氯化氫氣體通過多級降膜吸收器吸收增濃后形成的濃鹽酸排入濃酸儲槽(7)內存儲，所述氯化氫氣體通過多級降膜吸收器吸收后的尾氣從尾氣噴淋塔(6)的頂部排放。

2.根據權利要求1所述的用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，其特征在于：所述淋洗塔(2)通過管線連接有噴淋泵(201)。

3.根據權利要求2所述的用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，其特征在于：所述一級降膜吸收器(3)底部設有濃酸中間槽(301)，所述一級降膜吸收器(3)和濃酸中間槽(301)之間通過管道連接有濃酸循環泵(302)和循環水換熱器(303)，所述濃酸循環泵(302)的出口通過外排閥(701)與濃酸儲槽(7)連通。

4.根據權利要求3所述的用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，其特征在于：所述尾氣噴淋塔(6)的底部設有稀酸中間槽(601)，所述稀酸中間槽(601)和尾氣噴淋塔(6)之間通過管道連接有稀酸循環泵(602)，所述尾氣噴淋塔(6)通過氣相管Ⅲ(502)與三級降膜吸收器(5)的頂部連通，所述尾氣噴淋塔(6)底部通過兩支液相管Ⅲ(604)分別與稀酸中間槽(601)和三級降膜吸收器(5)連通。

5.根據權利要求4所述的用于多晶硅生產中氯化氫的連續回收處理裝置，其特征在于：所述尾氣噴淋塔(6)與三級降膜吸收器(5)相連接的液相管Ⅲ(604)上設有控制閥(603)。