[實用新型]適用于多晶硅厚膜的石英舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520511853.1
• 申請日: 2015-07-15
• 公開（公告）號: CN204966459U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設計）人: 馬曉鋒;許濤
• 申請（專利權）人: 蘇州工業(yè)園區(qū)納米產業(yè)技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李陽

技術領域

本實用新型涉及一種石英舟，尤其涉及一種適用于多晶硅厚膜的石英舟，屬于半導體加工用器件領域。

背景技術

多晶硅薄膜作為一種重要的半導體薄膜材料早已引起人們的重視，目前已廣泛應用于集成電路和各種電子器件的制造，且由于其特有的導電特性、優(yōu)良的力學性能、良好的半導體工藝兼容性，是較為理想的結構層材料，作為微機電系統(tǒng)(MEMS)中的基本結構材料尤其得到廣泛的應用。

多晶硅薄膜的應力在MEMS的結構中舉足輕重，其本身的應力，加上多晶厚膜與石英舟的卡槽之間的粘附，最終會導致晶圓(WAFER)產生破裂的現象。經實用新型人進行數據統(tǒng)計得如表1所示的結果：

表1采用現有技術中石英舟進行破片統(tǒng)計結果

從上述統(tǒng)計結果進行分析：破片均發(fā)生于厚膜的情況，主要是由于粘舟普遍引起的，而薄片并未發(fā)生破片，即破片晶圓均存在粘舟的現象，可推斷出現有技術采用的石英舟進行作業(yè)多晶硅厚膜產生破片應為基線(baseline)問題。多晶硅厚膜在N2MFC過沖期間破片率25％，高于無N2過沖期間4.3％，可以得出N2MFC過沖為引起多晶硅膜片破裂的因素之一；但在都存在N2MFC過沖期間，現有石英舟的寬槽舟(即寬0.9mm)的破片率為0.9％，優(yōu)于窄槽舟(即寬為0.75mm)時的破片率2.2％。這是因為過沖導致源片于主工藝前晃動，在接觸石英舟卡槽處產生裂口，從而在后續(xù)工藝中沿裂口受應力導致破片；從現場下片的情況來看，嚴重粘舟(含破片)的主要現象為緊密粘于下卡槽處，推測為主工藝過程中，因晶圓(wafer)同卡槽鍍膜時粘附過緊，并導致接觸受力點應力過大斷裂。

因此如何更改石英舟的尺寸和結構，來最大限度的降低多晶硅厚膜裂片成為當前亟待解決的問題。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種適用于多晶硅厚膜的石英舟，該石英舟通過對下舟槽的槽型和尺寸進行調整，降低了石英舟對晶片的接觸面積，從而降低了破片率。

本實用新型的技術方案是：

一種適用于多晶硅厚膜的石英舟，用于承載多晶硅厚膜片，其包括相互平行設置石英上棒和石英下棒，石英上棒上設置有若干個彼此平行且等距的上舟槽，石英下棒上設置有若干個與彼此平行且等距的下舟槽，上、下舟槽的位置對應，所述上舟槽的槽型為Y型結構，上舟槽的槽寬為0.9mm，上舟槽的槽深為2.0mm；所述下舟槽的槽型為上寬下窄的正梯形結構，下舟槽槽底的槽寬為1.1mm，下舟槽的槽深為2.0mm。

其進一步的技術方案是：

所述上舟槽的開口角度為60°，所述下舟槽的開口角度為60°。

所述石英上棒上設置有50個上舟槽，所述石英下棒上設置有50個下舟槽，且相鄰兩個上舟槽或相鄰兩個下舟槽的間距為2.35～2.40mm。

所述石英上棒上設置有25個上舟槽，所述石英下棒上設置有25個下舟槽，且相鄰兩個上舟槽或相鄰兩個下舟槽的間距為4.75～4.78mm。

借由上述方案，本實用新型至少具有以下優(yōu)點：該石英舟在現有石英舟的基礎上，保持石英上棒上的上舟槽的槽型為Y型不變，槽寬為0.9mm不變，槽深為2.0mm不變，調整石英下棒上的下舟槽的槽型為上寬下窄的正梯形結構，槽寬為1.1mm，槽深為2.0mm，經該槽型及尺寸調整后的石英下棒與尺寸未發(fā)生變化的石英上棒構成的石英舟降低了與晶片之間的接觸面積，粘舟情況和晶片情況良好，破片率低，操作簡便且能夠長期使用。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

附圖說明

圖1是本實用新型對比實施例7中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖2是本實用新型具體實施例1中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖3是本實用新型對比實施例2中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖4是本實用新型對比實施例3中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖5是本實用新型對比實施例4中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖6是本實用新型對比實施例5中所述石英舟下舟槽槽型示意圖；

圖7為本實用新型具體實施例1所述石英舟為50槽的俯視圖；

圖8為本實用新型具體實施例1所述石英舟為50槽的石英上棒和石英下棒的結構圖；

圖9為本實用新型具體實施例1所述石英舟為25槽的俯視圖；