[實用新型]適用于多晶硅厚膜的石英舟有效

申請號：	201520511853.1	申請日：	2015-07-15
公開（公告）號：	CN204966459U	公開（公告）日：	2016-01-13
發明（設計）人：	馬曉鋒;許濤	申請（專利權）人：	蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257	代理人：	李陽
地址：	215123 江蘇省蘇州市工業***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	適用于多晶硅厚膜石英
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【權利要求書】：

1.一種適用于多晶硅厚膜的石英舟，用于承載多晶硅厚膜片，其包括相互平行設置石英上棒(1)和石英下棒(2)，石英上棒上設置有若干個彼此平行且等距的上舟槽(3)，石英下棒上設置有若干個與彼此平行且等距的下舟槽(4)，上、下舟槽的位置對應，其特征在于：所述上舟槽的槽型為Y型結構，上舟槽的槽寬(W₁)為0.9mm，上舟槽的槽深(H₁)為2.0mm；所述下舟槽的槽型為上寬下窄的正梯形結構，下舟槽槽底的槽寬(W₂)為1.1mm，下舟槽的槽深(H₂)為2.0mm。

2.根據權利要求1所述的適用于多晶硅厚膜的石英舟，其特征在于：所述上舟槽的開口角度(α₁)為60°，所述下舟槽的開口角度(α₂)為60°。

3.根據權利要求1所述的適用于多晶硅厚膜的石英舟，其特征在于：所述石英上棒(1)上設置有50個上舟槽，所述石英下棒(2)上設置有50個下舟槽，且相鄰兩個上舟槽或相鄰兩個下舟槽的間距(D₁)為2.35～2.40mm。

4.根據權利要求1所述的適用于多晶硅厚膜的石英舟，其特征在于：所述石英上棒(1)上設置有25個上舟槽，所述石英下棒(2)上設置有25個下舟槽，且相鄰兩個上舟槽或相鄰兩個下舟槽的間距(D₂)為4.75～4.78mm。

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