[實用新型]一種周期性碗狀結構模板有效
| 申請號: | 201520510415.3 | 申請日: | 2015-07-15 |
| 公開(公告)號: | CN204999607U | 公開(公告)日: | 2016-01-27 |
| 發明(設計)人: | 李海鷗;徐文俊;李思敏;李琦;首照宇;高喜;肖功利 | 申請(專利權)人: | 桂林電子科技大學 |
| 主分類號: | B81B7/04 | 分類號: | B81B7/04 |
| 代理公司: | 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107 | 代理人: | 陳躍琳 |
| 地址: | 541004 廣*** | 國省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 周期性 結構 模板 | ||
【權利要求書】:
1.一種周期性碗狀結構模板,包括基底(1)和位于基底(1)上方的二氧化硅(2),其特征是,二氧化硅(2)上部形成多個碗狀的金屬孔(3),且這些金屬孔(3)在二氧化硅(2)上部呈周期性排布。
2.根據權利要求1所述的一種周期性碗狀結構模板,其特征是,所述金屬孔(3)的周期范圍為10納米~10微米之間。
3.根據權利要求1所述的一種周期性碗狀結構模板,其特征是,所述金屬孔(3)的周期性排布方式為十字排布或六方排布。
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