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[實用新型]一種周期性碗狀結構模板有效

專利信息
申請號: 201520510415.3 申請日: 2015-07-15
公開(公告)號: CN204999607U 公開(公告)日: 2016-01-27
發明(設計)人: 李海鷗;徐文俊;李思敏;李琦;首照宇;高喜;肖功利 申請(專利權)人: 桂林電子科技大學
主分類號: B81B7/04 分類號: B81B7/04
代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107 代理人: 陳躍琳
地址: 541004 廣*** 國省代碼: 廣西;45
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 周期性 結構 模板
【權利要求書】:

1.一種周期性碗狀結構模板,包括基底(1)和位于基底(1)上方的二氧化硅(2),其特征是,二氧化硅(2)上部形成多個碗狀的金屬孔(3),且這些金屬孔(3)在二氧化硅(2)上部呈周期性排布。

2.根據權利要求1所述的一種周期性碗狀結構模板,其特征是,所述金屬孔(3)的周期范圍為10納米~10微米之間。

3.根據權利要求1所述的一種周期性碗狀結構模板,其特征是,所述金屬孔(3)的周期性排布方式為十字排布或六方排布。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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