[實用新型]一種用于單晶爐真空系統的氣體過濾裝置

有效

• 申請號: 201520505895.4
• 申請日: 2015-07-14
• 公開（公告）號: CN204973470U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 靳麗婕;張云偉
• 申請（專利權）人: 北京世紀金光半導體有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;B01D46/00;B01D53/26
• 代理公司: 北京中創陽光知識產權代理有限責任公司 11003
• 代理人: 尹振啟

技術領域

本發明涉及半導體生長技術領域，特別是涉及半導體晶體生長真空系統過濾裝置。

背景技術

碳化硅單晶生長過程中需要冷卻水不斷地循環帶走大量熱量。這樣在爐腔內就不可避免地凝結一些水分子，在分子泵運行時，這些水分子會隨著氣路進入機械泵，引起機械泵抽真空能力下降，使用壽命減少。同時，機械泵在運行過程中揮發出油氣和其他雜質，在氣體傳輸過程中，這些雜質會進入分子泵和爐腔內，進入分子泵的油分子會嚴重降低分子泵使用壽命，進入爐腔的雜質會被吸附進生長坩堝內，作為雜質離子降低晶體質量，造成資源浪費。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種用于單晶爐真空系統的氣體過濾裝置,該氣體過濾裝置可以同時吸收水分子和油分子等雜質離子，凈化進入爐腔和機械泵的氣體，提高晶體生長質量，增加設備使用壽命，為企業帶來效益。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種用于單晶爐真空系統的氣體過濾裝置包括:過濾裝置本體,所述過濾裝置本體上設置有進氣口、出氣口和排氣口，所述進氣口與分子泵連接，所述出氣口與機械泵連接，過濾裝置本體內部設置有過濾腔，所述過濾腔中靠近進氣口裝有變色硅膠，靠近出氣口裝有活性炭，過濾腔中安裝有加熱源。

進一步，所述進氣口外安裝有單向插板閥。

進一步，所述過濾裝置本體為圓柱型，所述進氣口和所述出氣口分別位于軸對稱兩側的頂部和底部，所述排氣口位于過濾裝置本體的頂面。

在分子泵和機械泵之間的管道上加入本實用新型的氣體過濾裝置，其中濾芯由兩部分組成，靠近分子泵的一側內裝變色硅膠，可以吸收來自爐腔的水分子，保護機械泵不被水分子破壞；靠近機械泵一側裝入活性炭，活性炭對油分子及由油分子轉化來的雜質有很強的吸附作用，從而進入分子泵和爐腔的氣體基本可以保證純凈，有效的保護了分子泵，提高了晶體生長質量。

在分子泵與進氣口間的單向插板閥閉合時，用加熱源對過濾腔進行加熱，可以使吸收了雜質的濾芯恢復原始狀態，增加了濾芯的可重復利用性，同時濾芯可更換，更換操作簡便，降低了使用成本。

附圖說明

圖1為本實用新型用于單晶爐真空系統的氣體過濾裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1所示為本實用新型一種用于單晶爐真空系統的氣體過濾裝置的具體實施例，在本實施例中氣體過濾裝置具體包括:過濾裝置本體6,過濾裝置本體6為圓柱型，過濾裝置本體6上設置有進氣口2、出氣口5和排氣口3，進氣口2與分子泵連接，進氣口2與分子泵的連接管路上安裝有單向插板閥1，出氣口5與機械泵連接，進氣口2和出氣口5分別位于軸對稱兩側的頂部和底部，排氣口3位于過濾裝置本體6的頂面，過濾裝置本體6內部設置有過濾腔，過濾腔中靠近進氣口2裝有變色硅膠7，靠近出氣口5裝有活性炭8，過濾腔中安裝有加熱源4。

在分子泵和機械泵之間的管道上加入本實用新型的氣體過濾裝置，其中濾芯由兩部分組成，靠近分子泵的一側內裝變色硅膠，可以吸收來自爐腔的水分子，保護機械泵不被水分子破壞；靠近機械泵一側裝入活性炭，活性炭對油分子及由油分子轉化來的雜質有很強的吸附作用，從而進入分子泵和爐腔的氣體基本可以保證純凈，有效的保護了分子泵，提高了晶體生長質量。

在分子泵與進氣口間的單向插板閥閉合時，用加熱源對過濾腔進行加熱，可以使吸收了雜質的濾芯恢復原始狀態，增加了濾芯的可重復利用性，同時濾芯可更換，更換操作簡便，降低了使用成本。

上述示例只是用于說明本實用新型，本實用新型的實施方式并不限于這些示例，本領域技術人員所做出的符合本實用新型思想的各種具體實施方式都在本實用新型的保護范圍之內。