[實用新型]一種用于單晶爐真空系統(tǒng)的氣體過濾裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520505895.4 | 申請日： | 2015-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN204973470U | 公開（公告）日： | 2016-01-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 靳麗婕;張云偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京世紀(jì)金光半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/04 | 分類號： | B01D53/04;B01D46/00;B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11003 | 代理人： | 尹振啟 |
| 地址： | 101111 北京市通州*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 單晶爐 真空 系統(tǒng) 氣體 過濾 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于單晶爐真空系統(tǒng)的氣體過濾裝置，其特征在于，該氣體過濾裝置包括:過濾裝置本體,所述過濾裝置本體上設(shè)置有進(jìn)氣口、出氣口和排氣口，所述進(jìn)氣口與分子泵連接，所述出氣口與機(jī)械泵連接，過濾裝置本體內(nèi)部設(shè)置有過濾腔，所述過濾腔中靠近進(jìn)氣口裝有變色硅膠，靠近出氣口裝有活性炭，過濾腔中安裝有加熱源。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣口外安裝有單向插板閥。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置本體為圓柱型，所述進(jìn)氣口和所述出氣口分別位于軸對稱兩側(cè)的頂部和底部，所述排氣口位于過濾裝置本體的頂面。
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