[實(shí)用新型]一種導(dǎo)磁性材料磁控濺射平面靶的拼靶機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520488630.8
• 申請(qǐng)日: 2015-07-09
• 公開（公告）號(hào): CN204849011U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉敏;金云華;李撫龍;趙麗敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)藍(lán)天高新技術(shù)材料（大連）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于磁控濺射鍍膜領(lǐng)域，具體涉及到一種導(dǎo)磁性材料磁控濺射平面靶的拼靶機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前磁控濺射技術(shù)在工業(yè)上有著廣泛的應(yīng)用，磁控濺射中平面靶的靶材利用率低，造成生產(chǎn)成本的提高，對(duì)于濺射導(dǎo)磁性材料的平面靶，因?yàn)椴牧系奶厥馓匦裕瑢?dǎo)致靶材的利用率更低，拼靶的技術(shù)應(yīng)用到磁控濺射領(lǐng)域，對(duì)于非導(dǎo)磁性材料，拼靶的技術(shù)日趨成熟，導(dǎo)磁性材料因?yàn)榇盆F對(duì)靶板的巨大吸附力，使得靶材的安裝成為技術(shù)的難點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型目的針對(duì)于磁控濺射中的平面靶的機(jī)構(gòu)形成，進(jìn)行了進(jìn)一步加工設(shè)計(jì)，具體提供了一種導(dǎo)磁性材料磁控濺射平面靶的拼靶機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型是通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)的一種導(dǎo)磁性材料磁控濺射平面靶的拼靶機(jī)構(gòu)，靶體內(nèi)通過(guò)螺栓固定著導(dǎo)磁體，導(dǎo)磁體上設(shè)有磁體組件，在靶體下端通過(guò)螺釘固定著背板，背板與靶體之間設(shè)有O型密封圈，背板下端固定著至少三塊中部靶材，中部靶材為導(dǎo)磁性材料的長(zhǎng)方體，且中部靶材的橫截面Ⅰ為梯形，中部靶材的斜邊度數(shù)為72°至80°，在背板與中部靶材之間設(shè)有石墨墊，起到潤(rùn)滑，導(dǎo)電，傳導(dǎo)熱量的作用，在靠外側(cè)兩端的兩個(gè)中部靶材分別連接著端部靶材，所述的端部靶材為導(dǎo)磁性材料的長(zhǎng)方體，且端部靶材的橫截面Ⅱ?yàn)樘菪危瞬堪胁牡男边叾葦?shù)為72°至80°，所述的端部靶材的斜邊和中部靶材的斜邊上設(shè)有壓條，壓條上設(shè)有與端部靶材和中部靶材的斜邊相配合的斜邊，通過(guò)壓條來(lái)做靶體的軌道，所述的壓條通過(guò)螺栓固定在背板和靶體上，通過(guò)擰固螺栓對(duì)壓條進(jìn)行擰緊，達(dá)到對(duì)端部靶材和中部靶材的擠壓固定。

本實(shí)用新型的有益效果為結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，拼靶簡(jiǎn)單牢靠，并且安裝靶體簡(jiǎn)單方便，減少員工的勞動(dòng)強(qiáng)度，降低工件的損傷。提高靶材的利用率，降低企業(yè)的運(yùn)營(yíng)成本。

附圖說(shuō)明

圖1為整體示意圖；

圖2為側(cè)視圖；

圖3為中部板材示意圖；

圖4為端部板材示意圖；

如圖1至圖4所述，靶體（1），螺栓（2），導(dǎo)磁體（3），背板（4），O型密封圈（5），磁體組件（6），中部靶材（7），石墨墊（8），端部靶材（9），內(nèi)六角螺栓（10），壓條（11），螺釘（12），橫截面Ⅰ（13），橫截面Ⅱ（14）。

具體實(shí)施方式

一種導(dǎo)磁性材料磁控濺射平面靶的拼靶機(jī)構(gòu)，靶體（1）內(nèi)通過(guò)螺栓（2）固定著導(dǎo)磁體（3），導(dǎo)磁體（3）上設(shè)有磁體組件（6）,在靶體（1）下端通過(guò)螺釘(12)固定著背板（4），背板（4）與靶體（1）之間設(shè)有O型密封圈（5），背板（4）下端固定著至少三塊中部靶材（7），中部靶材（7）為長(zhǎng)方形的導(dǎo)磁性材料，且中部靶材（7）的橫截面Ⅰ（13）為梯形，中部靶材（7）的斜邊度數(shù)范圍在72°至80°之間，位于背板（4）與中部靶材（7）之間設(shè)有石墨墊（8），起到潤(rùn)滑，導(dǎo)電，傳導(dǎo)熱量的作用，在外側(cè)兩端的兩個(gè)中部靶材（7）分別連接著端部靶材（9），所述的端部靶材（9）為長(zhǎng)方形的導(dǎo)磁性材料，且端部靶材（9）的橫截面Ⅱ（14）為梯形，端部靶材（9）的斜邊度數(shù)范圍在72°至80°之間，中部靶材（7）的斜邊與端部靶材（9）的斜邊相配合固定連接，所述的端部靶材（9）的邊沿上設(shè)有壓條（11），通過(guò)壓條（11）來(lái)做靶體（1）的軌道，所述的壓條（11）通過(guò)內(nèi)六角螺栓（10）固定在背板（4）和靶體（1）上。操作步驟：首先將壓條（11）通過(guò)內(nèi)六角螺栓（10）固定在背板（4）上，再將中部靶材（7）通過(guò)配合的斜邊拼湊放置在有石墨墊（8）的背板（4）上，因?yàn)橹胁堪胁模?）和端部靶材（9）都是用導(dǎo)磁性的材料制作，所以在安裝拼湊時(shí)會(huì)被磁體組件（6）吸住難以卸下，石墨墊（8），起到潤(rùn)滑，導(dǎo)電，傳導(dǎo)熱量的作用，克服很大一些磁場(chǎng)的吸附力，在中部靶材（7）和壓條（11）之間安裝上端部靶材（9），最后擰緊內(nèi)六角螺栓（10），在擰緊內(nèi)六角螺栓（10）過(guò)程中，壓條（11）的斜邊與端部靶材（9）的斜邊相配合產(chǎn)生一個(gè)向內(nèi)的擠壓力，從而緊固端部靶材（9）和中部靶材（7），端部靶材（9）和中部靶材（7）的邊沿斜面起到導(dǎo)向的作用，對(duì)正，減少材料之間的摩擦力，壓條（11）起到軌道的作用。