[實用新型]一種硅片輸送傳料裝置

有效

• 申請號: 201520485477.3
• 申請日: 2015-07-02
• 公開（公告）號: CN204991670U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 孫顯強
• 申請（專利權）人: 溫州市賽拉弗能源有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種硅片輸送傳料裝置，其特征在于，包括：

機架(15)；

輸送機構(1)，所述輸送機構(1)設置在機架(15)上，所述輸送機構(1)用于輸送硅片；

吹干裝置(3)，所述吹干裝置(3)設置在機架(15)上，且位于輸送機構(1)的上部，所述吹干裝置(3)用于硅片的吹干；

電控裝置(4)，所述電控裝置(4)設置在機架(15)的一側，所述電控裝置(4)用于輸送機構(1)和吹干裝置(3)的控制。

2.根據權利要求1所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述輸送機構(1)包括一對輥輪(13)和輸送帶(11)，所述輥輪(13)可旋轉地設置在機架(15)上，所述輸送帶(11)套接在兩個輥輪(13)上。

3.根據權利要求2所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述輸送帶(11)具有若干個帶齒(12)，所述帶齒(12)具有齒寬B。

4.根據權利要求3所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，還包括若干個頂針(6)和翻轉機構(5)，所述頂針(6)固定設置在輸送帶(11)上，且沿輸送帶(11)的長度方向均勻分布，所述頂針(6)具有若干個凸緣，所述凸緣具有緣高H。

5.根據權利要求4所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述齒寬B與緣高H之比為1：2～1：4。

6.根據權利要求2所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，還包括傳動機構(2)和漲緊機構(24)，所述傳動機構(2)設置在機架(15)上，且一端連接在輥輪(13)上，所述漲緊機構(24)設置在機架(15)上，且一端抵擋在傳動機構(2)的傳動帶(23)上。

7.根據權利要求4所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述吹干裝置(3)包括管路(32)、下切風裝置(33)和上切風裝置(34)，所述管路(32)安裝在機架(15)一側，且向機架(15)的上部延伸，所述下切風裝置(33)連接在管路(32)上部，所述上切風裝置(34)連接在管路(32)上部。

8.根據權利要求7所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述下切風裝置(33)位于輸送帶(11)的下方，所述上切風裝置(34)位于輸送帶(11)的上方，所述下切風裝置(33)和上切風裝置(34)上均設有若干個噴頭。

9.根據權利要求7所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述吹干裝置(3)還包括風機(31)和接水槽(35)，所述風機(31)安裝在機架(15)上，且與管路(32)下部相連接，所述接水槽(35)安裝在機架(15)上，且位于輸送帶(11)的下方，并且位于下切風裝置(33)的下方。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的硅片輸送傳料裝置，其特征在于，所述電控裝置(4)包括傳感器(41)和PLC(42)，所述傳感器(41)安裝在機架(15)末端，所述PLC(42)安裝在電控箱內，所述傳感器(41)和PLC(42)電連接。