[實用新型]一種頂針驅動裝置、頂針機構及其自動固晶機有效
| 申請號: | 201520481654.0 | 申請日: | 2015-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN204885122U | 公開(公告)日: | 2015-12-16 |
| 發明(設計)人: | 唐文軒;羅琳;黃國洪 | 申請(專利權)人: | 深圳市微恒自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518111 廣東省深圳市龍崗區平湖街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 頂針 驅動 裝置 機構 及其 自動 固晶機 | ||
技術領域
本實用新型涉及自動化設備領域,尤其涉及一種頂針驅動裝置、頂針機構及其自動固晶機。
背景技術
固晶是半導體行業封裝重要的工序,而由于受人力成本等因素影響,自動固晶機應用越來越廣泛。
而頂針機構則是自動固晶機中必不可少的裝置。它主要起把晶片頂出,使晶片從晶膜分離的作用。由于晶片非常小且脆弱,加上固晶機速度越來越快,對頂針機構的位置精度及響應速度的要求越來越高。
現有的固晶機頂針驅動機構均采用如圖1所示的凸輪推桿結構。A1為頂針,A2為直線軸承,使頂針A1沿上下運動,A3為固晶機的基座,A6為軸承,A8為驅動電機的輸出轉軸。其具體通過凸輪A7的位移控制頂針A1的高度并依靠彈簧A4使頂針復位。基于自動固晶機的特點,為保證運動的靈活性,無法設置回復彈力較大的彈簧A4。因而,上述凸輪推桿結構在高速運動中容易出現推桿A5與凸輪A7過沖脫離的情況,從而導致頂針高度不受控制,使頂針過快磨損或造成晶片損傷。
因此,現有技術還有待于改進和發展。
實用新型內容
鑒于上述現有技術的不足,本實用新型的目的在于提供一種頂針驅動裝置、頂針機構及其自動固晶機,旨在解決現有自動固晶機頂針機構推桿與凸輪容易過沖脫離,導致頂針過快磨損和造成晶片損傷問題。
本實用新型的技術方案如下:
本實用新型一方面公開了一種頂針驅動裝置,包括驅動電機以及連接頂針和驅動電機的傳動機構,其特征在于,所述傳動機構具體為曲柄滑塊機構,曲柄段由驅動電機帶動旋轉,滑塊段與頂針連接,沿直線往復運動。
其中,所述曲柄滑塊機構具體包括:偏心軸、連桿、直線軸承及頂針連接桿;所述驅動電機輸出端通過偏心軸與連桿的一端連接,構成原動件,帶動連桿旋轉,形成曲柄段;所述頂針連接桿與連桿的另一端鉸接,直線軸承固定在機體上;所述頂針連接桿與所述直線軸承構成移動副,所述直線軸承充當機架,所述頂針連接桿充當滑塊段。
進一步的,所述偏心軸通過第一滾動軸承與連桿連接,偏心軸與第一滾動軸承之間的連接為過盈配合。
進一步的,所述頂針連接桿具體包括直線運動桿、連接塊以及從動小軸;所述連桿及連接塊對應位置上設置有軸孔,所述從動軸穿過連桿與連接塊的軸孔,形成連桿與連接塊的鉸接結構;所述直線運動桿與連接塊固定聯接并由直線軸承導引,沿直線軸承的軸心往復運動。
進一步的,所述從動軸通過第二滾動軸承與連桿連接,從動軸與第二滾動軸承之間為過盈配合。
進一步的,所述頂針驅動裝置還包括原點調整裝置,所述原點調整裝置具體包括:傳感器座、原點傳感器以及擋光片;所述原點傳感器設置在傳感器座上,可調整位置的傳感器座設置在機架上,擋光片固定在驅動電機的輸出軸上,隨驅動電機旋轉。
進一步的,所述曲柄滑塊機構為偏置曲柄滑塊機構。
進一步的,所述驅動電機為步進電機。
本實用新型另一方面還提供了一種固晶機頂針機構,其中,所述頂針機構包括如上所述的頂針驅動裝置和與所述頂住驅動裝置連接的頂針。
本實用新型還提供了一種自動固晶機,其中,所述自動固晶機的頂針機構為如上所述的固晶機頂針機構。
有益效果:本實用新型提供的一種頂針驅動裝置、頂針機構及其自動固晶機。通過使用連桿機構來替代現有技術中的凸輪結構,使頂針的上下運動無滯后,上下運動位置一致性良好,有效的延長了頂針的使用壽命。另外,采用曲柄滑塊連桿機構后,頂針驅動部分的剛性提高,使頂針運動時無左右擺動,有效避免了原料的浪費,極大提升了固晶品質并使得對驅動電機的精度要求等降低,有效的減少了生產成本。
附圖說明
圖1為現有技術的頂針驅動機構均采用的凸輪推桿結構示意圖。
圖2為本實用新型具體實施例的頂針驅動裝置的結構原理圖。
圖3為本實用新型具體實施例的頂針驅動裝置的立體結構示意圖。
圖4為本實用新型具體實施例的應用所述頂針機構的自動固晶機的局部結構示意圖。
具體實施方式
本實用新型提供一種頂針驅動裝置、頂針機構及其自動固晶機。為使本實用新型的目的、技術方案及效果更加清楚、明確,以下對本實用新型進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
如圖4所示,為本實用新型具體實施例的頂針驅動裝置。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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