[實(shí)用新型]一種頂針驅(qū)動(dòng)裝置、頂針機(jī)構(gòu)及其自動(dòng)固晶機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520481654.0 | 申請(qǐng)日: | 2015-07-06 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN204885122U | 公開(kāi)(公告)日: | 2015-12-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 唐文軒;羅琳;黃國(guó)洪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市微恒自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 518111 廣東省深圳市龍崗區(qū)平湖街*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 頂針 驅(qū)動(dòng) 裝置 機(jī)構(gòu) 及其 自動(dòng) 固晶機(jī) | ||
1.一種頂針驅(qū)動(dòng)裝置,包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)以及連接頂針和驅(qū)動(dòng)電機(jī)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu),其特征在于,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)具體為曲柄滑塊機(jī)構(gòu),曲柄段由驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),滑塊段與頂針連接,沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)具體包括:偏心軸、連桿、直線軸承及頂針連接桿;
所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端通過(guò)偏心軸與連桿的一端連接,構(gòu)成原動(dòng)件,帶動(dòng)連桿旋轉(zhuǎn),形成曲柄段;
所述頂針連接桿與連桿的另一端鉸接,直線軸承固定在機(jī)體上;所述頂針連接桿與所述直線軸承構(gòu)成移動(dòng)副,所述直線軸承充當(dāng)機(jī)架,所述頂針連接桿充當(dāng)滑塊段。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述偏心軸通過(guò)第一滾動(dòng)軸承與連桿連接,偏心軸與第一滾動(dòng)軸承之間的連接為過(guò)盈配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述頂針連接桿具體包括直線運(yùn)動(dòng)桿、連接塊以及從動(dòng)軸;
所述連桿及連接塊對(duì)應(yīng)位置上設(shè)置有軸孔,所述從動(dòng)軸穿過(guò)連桿與連接塊的軸孔,形成連桿與連接塊的鉸接結(jié)構(gòu);
所述直線運(yùn)動(dòng)桿與連接塊固定聯(lián)接并由直線軸承導(dǎo)引,沿直線軸承的軸心往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述從動(dòng)軸通過(guò)第二滾動(dòng)軸承與連桿連接,從動(dòng)軸與第二滾動(dòng)軸承之間為過(guò)盈配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述頂針驅(qū)動(dòng)裝置還包括原點(diǎn)調(diào)整裝置,所述原點(diǎn)調(diào)整裝置具體包括:傳感器座、原點(diǎn)傳感器以及擋光片;
所述原點(diǎn)傳感器設(shè)置在傳感器座上,可調(diào)整位置的傳感器座設(shè)置在機(jī)架上,擋光片固定在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上,隨驅(qū)動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)為偏置曲柄滑塊機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。
9.一種固晶機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂針機(jī)構(gòu)包括如權(quán)利要求1-8任一所述的頂針驅(qū)動(dòng)裝置和與所述頂針驅(qū)動(dòng)裝置連接的頂針。
10.一種自動(dòng)固晶機(jī),其特征在于,所述自動(dòng)固晶機(jī)的頂針機(jī)構(gòu)為如權(quán)利要求9所述的固晶機(jī)頂針機(jī)構(gòu)。
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H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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