[實用新型]直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺

有效

• 申請號: 201520476222.0
• 申請日: 2015-07-03
• 公開（公告）號: CN204759018U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 王友車;張國龍;朱亮;薛業保;吳斌;成超
• 申請（專利權）人: 蘇州微影光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259
• 代理人: 孫高

1.直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，包括安裝底座(1)和設置在安裝底座(1)上的掃描臺面(2)，其特征在于，所述掃描臺面(2)相對的兩側分別豎向設置有至少一個縱滑塊(3)，所述安裝底座(1)上豎向設置有與縱滑塊(3)一一對應的縱滑軌(4)，所述縱滑塊(3)上下滑動連接在縱滑軌(4)上，所述掃描臺面(2)的底面為傾斜的平面，掃描臺面(2)的底面上沿從高到低的方向設置有若干斜滑軌(5)，所述安裝底座(1)的上平面上設置有與斜滑軌(5)平行的若干橫滑軌(6)，所述掃描臺面(2)和安裝底座(1)之間設置有一個上端面與掃描臺面(2)的底面平行的楔形滑塊(7)，該楔形滑塊(7)的上端面上設置有與各個斜滑軌(5)相配合的斜滑槽(8)，楔形滑塊(7)的底面設置有與各個橫滑軌(6)相配合的橫滑槽(9)，所述安裝底座(1)上還設置有一套驅動裝置(10)，該驅動裝置(10)與楔形滑塊(7)相連接，驅動楔形滑塊(7)沿橫滑軌(6)來回滑動。

2.根據權利要求1所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述斜滑軌(5)與水平面的夾角在20度到45度之間。

3.根據權利要求2所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述驅動裝置(10)包括平行于橫滑軌(6)的絲杠(11)，固定連接在楔形滑塊(7)上且與絲杠(11)相旋接的滾珠螺母(12)，以及連接絲杠(11)一端的伺服電機(13)，所述伺服電機(13)固定安裝在安裝底座(1)上。

4.根據權利要求3所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述楔形滑塊(7)上設置有一平行于橫滑軌(6)的通孔(14)，所述絲杠(11)穿過通孔(14)，旋接在絲杠(11)上的滾珠螺母(12)固定連接在通孔(14)的一端。

5.根據權利要求4所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述掃描臺面(2)為矩形，掃描臺面(2)相對的兩側分別豎向設置有兩個縱滑塊(3)，且位于同一側的兩個縱滑塊(3)分別固定安裝在該側的橫向兩端。

6.根據權利要求5所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述縱滑塊(3)上設置有與縱滑軌(4)相配合的卡槽(15)。

7.根據權利要求5所述的直寫式光刻設備中的高精密重載掃描臺，其特征在于，所述楔形滑塊(7)包括一個上端面與掃描臺面(2)的底面平行的斜塊(16)，斜塊(16)的上端面上固定連接有若干與斜滑軌(5)一一對應的斜滑塊(17)，所述斜滑槽(8)設置在斜滑塊(17)的上端面上；斜塊(16)的底面固定連接有若干與橫滑軌(6)一一對應的橫滑塊(18)，所述橫滑槽(9)設置在橫滑塊(18)的底面上。