[實(shí)用新型]直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520476222.0
• 申請(qǐng)日: 2015-07-03
• 公開（公告）號(hào): CN204759018U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王友車;張國龍;朱亮;薛業(yè)保;吳斌;成超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州微影光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 無錫中瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32259
• 代理人: 孫高

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)。

背景技術(shù)

在常規(guī)的直寫式曝光設(shè)備中，掃描臺(tái)不具備升降功能，在曝光不同厚度的PCB板時(shí)，需要制作不同厚度的精密墊板，將墊板墊在掃描臺(tái)面上，以滿足這樣即浪費(fèi)制作成本，也浪費(fèi)操作時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)，該掃描臺(tái)的掃描臺(tái)面可升降。

本實(shí)用新型進(jìn)一步要解決的技術(shù)問題是：提供一種直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)，該掃描臺(tái)在原驅(qū)動(dòng)力不變的情況下，提高掃描臺(tái)面的額定載重量。

本實(shí)用新型更進(jìn)一步要解決的技術(shù)問題是：提供一種直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)，該掃描臺(tái)能夠提高調(diào)節(jié)升降高度的精度。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：直寫式光刻設(shè)備中的高精密重載掃描臺(tái)，包括安裝底座和設(shè)置在安裝底座上的掃描臺(tái)面，所述掃描臺(tái)面相對(duì)的兩側(cè)分別豎向設(shè)置有至少一個(gè)縱滑塊，所述安裝底座上豎向設(shè)置有與縱滑塊一一對(duì)應(yīng)的縱滑軌，所述縱滑塊上下滑動(dòng)連接在縱滑軌上，所述掃描臺(tái)面的底面為傾斜的平面，掃描臺(tái)面的底面上沿從高到低的方向設(shè)置有若干斜滑軌，所述安裝底座的上平面上設(shè)置有與斜滑軌平行的若干橫滑軌，所述掃描臺(tái)面和安裝底座之間設(shè)置有一個(gè)上端面與掃描臺(tái)面的底面平行的楔形滑塊，該楔形滑塊的上端面上設(shè)置有與各個(gè)斜滑軌相配合的斜滑槽，楔形滑塊的底面設(shè)置有與各個(gè)橫滑軌相配合的橫滑槽，所述安裝底座上還設(shè)置有一套驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置與楔形滑塊相連接，驅(qū)動(dòng)楔形滑塊沿橫滑軌來回滑動(dòng)。

所述斜滑軌與水平面的夾角在20度到45度之間。

所述驅(qū)動(dòng)裝置包括平行于橫滑軌的絲杠，固定連接在楔形滑塊上且與絲杠相旋接的滾珠螺母，以及連接絲杠一端的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)固定安裝在安裝底座上。

所述楔形滑塊上設(shè)置有一平行于橫滑軌的通孔，所述絲杠穿過通孔，旋接在絲杠上的滾珠螺母固定連接在通孔的一端。

所述掃描臺(tái)面為矩形，掃描臺(tái)面相對(duì)的兩側(cè)分別豎向設(shè)置有兩個(gè)縱滑塊，且位于同一側(cè)的兩個(gè)縱滑塊分別固定安裝在該側(cè)的橫向兩端。

所述縱滑塊上設(shè)置有與縱滑軌相配合的卡槽。

所述楔形滑塊包括一個(gè)上端面與掃描臺(tái)面的底面平行的斜塊，斜塊的上端面上固定連接有若干與斜滑軌一一對(duì)應(yīng)的斜滑塊，所述斜滑槽設(shè)置在斜滑塊的上端面上；斜塊的底面固定連接有若干與橫滑軌一一對(duì)應(yīng)的橫滑塊，所述橫滑槽設(shè)置在橫滑塊的底面上。

本實(shí)用新型的有益效果是：通過驅(qū)動(dòng)裝置10驅(qū)動(dòng)楔形滑塊7沿橫滑軌6來回滑動(dòng)，楔形滑塊7通過與斜滑軌5滑動(dòng)配合的斜滑槽8帶動(dòng)掃描臺(tái)面沿縱滑軌4上下滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了掃描臺(tái)面2可升降的技術(shù)效果；

通過楔形滑塊7將掃描臺(tái)面2傳遞下來的力分解成一個(gè)橫向力和一個(gè)縱向力，從而減小了驅(qū)動(dòng)裝置10受到的力，反之，在原驅(qū)動(dòng)力不變的情況下，提高了掃描臺(tái)面的額定載重量；

通過將斜滑軌5與水平面的夾角設(shè)置成小于45度，根據(jù)勾股定理，楔形滑塊7橫向滑移距離大于掃描臺(tái)面2的縱向滑移距離，從而提高掃描臺(tái)面2的調(diào)節(jié)升降高度的精度。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中的A-A剖視圖；

圖3是圖1中的B-B剖視圖；

圖4是圖1中的7號(hào)件立體結(jié)構(gòu)示意視圖。

圖1～圖4中：1、安裝底座，2、掃描臺(tái)面，3、縱滑塊，4、縱滑軌，5、斜滑軌，6、橫滑軌，7、楔形滑塊，8、斜滑槽，9、橫滑槽，10、驅(qū)動(dòng)裝置，11、絲杠，12、滾珠螺母，13、伺服電機(jī)，14、通孔，15、卡槽，16、斜塊，17、斜滑塊，18、橫滑塊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本實(shí)用新型的具體實(shí)施方案。