[實(shí)用新型]一種自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520461292.9
• 申請(qǐng)日: 2015-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204760360U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳立輝;賈弘源;王國(guó)瑞;姚長(zhǎng)娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/68
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 陳雅潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，硅片的去邊大多是由搬運(yùn)機(jī)械手從上料機(jī)構(gòu)直接搬運(yùn)至藥液槽，少數(shù)在上料機(jī)構(gòu)與藥液槽之間設(shè)有硅片暫存臺(tái)，但現(xiàn)有暫存臺(tái)存在一些不足之處：硅片放置時(shí)易跑偏，不能保證硅片位置的精確性；暫存臺(tái)自身不具備校正調(diào)整的功能；暫存臺(tái)剛度不足，機(jī)械手在下伸抓取硅片的過(guò)程中暫存臺(tái)易發(fā)生變形。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種剛性好、精度高的自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置，包括支撐座，在所述支撐座上部依次設(shè)有微調(diào)滑臺(tái)、角度調(diào)整板、連接板和吸附平臺(tái)，所述支撐座、微調(diào)滑臺(tái)、角度調(diào)整板、連接板和吸附平臺(tái)之間均通過(guò)螺栓連接；所述吸附平臺(tái)上設(shè)有定位開(kāi)口，所述吸附平臺(tái)上端面開(kāi)有凹槽，所述吸附平臺(tái)的外側(cè)壁上開(kāi)有與所述凹槽連通的氣道；所述角度調(diào)整板邊緣開(kāi)有兩個(gè)對(duì)稱的弧形長(zhǎng)孔。

進(jìn)一步的，所述凹槽為一內(nèi)一外兩個(gè)同圓心的弧形槽，所述兩個(gè)弧形槽之間設(shè)有連通槽

進(jìn)一步的，所述吸附平臺(tái)為圓柱形。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置具有以下優(yōu)勢(shì)：

(1)設(shè)計(jì)有微調(diào)滑臺(tái)，定位校準(zhǔn)時(shí)能夠?qū)ξ恢眠M(jìn)行微調(diào)，保證了精度，校準(zhǔn)后可鎖死；

(2)設(shè)計(jì)有角度調(diào)整板，可微調(diào)硅片與吸盤的吸附角度；

(3)支撐座剛性好，避免了吸盤下伸取片過(guò)程中的變形。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型吸附平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型吸附平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型角度調(diào)整版的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

1-支撐座，2-微調(diào)滑臺(tái)，21-微調(diào)旋鈕，3-角度調(diào)整板，31-弧形長(zhǎng)孔，4-連接板，5-吸附平臺(tái)，51-弧形槽，52-定位開(kāi)口，53-連通槽，54-氣道。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。

如圖1、2所示，自動(dòng)去邊機(jī)用硅片暫存裝置包括支撐座1，在所述支撐座1上部依次設(shè)有微調(diào)滑臺(tái)2、角度調(diào)整板3、連接板4和吸附平臺(tái)5，所述支撐座1、微調(diào)滑臺(tái)2、角度調(diào)整板3、連接板4和吸附平臺(tái)5之間均通過(guò)螺栓連接。

如圖3、4所示為吸附平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述吸附平臺(tái)5為圓柱形，所述吸附平臺(tái)5上設(shè)有定位開(kāi)口52，所述吸附平臺(tái)上端面開(kāi)有凹槽，所述凹槽為一內(nèi)一外兩個(gè)同圓心的弧形槽51，所述兩個(gè)弧形槽之間設(shè)有連通槽53，所述吸附平臺(tái)的外側(cè)壁上開(kāi)有與所述凹槽連通的氣道54，硅片放置后，通過(guò)氣道抽真空，從而起到真空吸附作用。

如圖5所示為角度調(diào)整板的結(jié)構(gòu)示意圖，所述角度調(diào)整板邊緣開(kāi)有兩個(gè)對(duì)稱的弧形長(zhǎng)孔31，用于調(diào)整吸附平臺(tái)定位開(kāi)口52的朝向角度。本實(shí)用新型的功能是，在硅片尋參完成后，機(jī)械手將硅片放于硅片暫存裝置上，吸附平臺(tái)5通過(guò)氣道54抽真空，從而起到真空吸附的作用，將硅片吸附牢固。在工作過(guò)程中若出現(xiàn)硅片與暫存裝置之間出現(xiàn)位置誤差時(shí)，可通過(guò)兩種方式手動(dòng)調(diào)試校正裝置，第一種手動(dòng)調(diào)試方式：將連接微調(diào)滑臺(tái)2的螺栓擰松，轉(zhuǎn)動(dòng)微調(diào)旋鈕21來(lái)精確調(diào)整前后位置，校準(zhǔn)后可鎖死，微調(diào)滑臺(tái)2為一種位置調(diào)整裝置，即為現(xiàn)有，故在此不做過(guò)多描述；第二種手動(dòng)調(diào)試方式：將連接吸附平臺(tái)的螺栓擰松，借助其他裝置伸過(guò)弧形長(zhǎng)孔之后來(lái)?yè)軇?dòng)吸附平臺(tái)上的定位開(kāi)口，用于調(diào)整定位開(kāi)口的朝向角度，調(diào)整好后擰緊螺栓。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。