[實用新型]一種磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀

有效

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• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN204705316U
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發(fā)明（設計）人: 周春艷;張白
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪

技術領域

本發(fā)明涉及一種精密測試技術及儀器領域，特別涉及一種磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀。

背景技術

激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術得到迅速發(fā)展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點，激光干涉測量技術已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機械的控制、校正；大規(guī)模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng)；微小尺寸的測量等。目前，在大多數(shù)激光干涉測長系統(tǒng)中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結構，比如，目前常用的單頻激光干涉儀。

單頻激光干涉儀是從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接收器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)N，再由電子計算機按計算式Y＝N×λ/2，式中λ為激光波長，算出可動反射鏡的位移量Y。

在實際使用中，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述的測量結構和測量方法依然存在著不足：

目前的單頻激光干涉儀還存在受環(huán)境影響嚴重的問題，激光干涉儀可動反光鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接收器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，當為最強相長干涉時，信號超過計數(shù)器的觸發(fā)電平被記錄下來，如果環(huán)境發(fā)生變化，比如空氣湍流，空氣中雜質增多，機床油霧，加工時的切削屑對激光束的影響，使得激光束的強度降低，此時，即使是出現(xiàn)最強相?長干涉，也有可能強度低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而不被計數(shù)，如此，使得最后得到的測量數(shù)據(jù)并不準確。

所以，基于上述不足，目前亟需一種即能夠抗環(huán)境干擾，又能夠提高測量精度的激光干涉儀。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對目前激光干涉儀抗環(huán)境干擾能力差的不足，提供一種能夠抗環(huán)境干擾的激光干涉儀。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了以下技術方案：

一種磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀，包括有激光源、微動平面反射鏡、干涉測量光電探測器、移動平面反射鏡、分光鏡組和磁性微位移平臺，所述微動平面反射鏡設置在所述磁性微位移平臺上，所述激光源射出的激光束經(jīng)所述分光鏡組后分為第一激光束和第二激光束，第一激光束射向所述微動平面反射鏡，經(jīng)所述微動平面反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，再經(jīng)分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，第二激光束射向所述移動平面反射鏡，經(jīng)所述移動平面反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，經(jīng)分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，第一激光束與第二激光束在射向所述干涉測量光電探測器時發(fā)生干涉，所述磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀還包括有反射測量光電探測器，所述第二激光束在由所述移動平面反射鏡射向所述分光鏡組后還形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射測量光電探測器；

所述磁性微位移平臺，包括有支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的位移裝置，所述支撐平臺上設置有第一位移件，所述第一位移件與所述位移裝置連接，所述位移裝置帶動所述第一位移件沿所述支撐平臺運動，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑動設置有第二位?移件，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當?shù)谝晃灰萍凰鑫灰蒲b置帶動而產(chǎn)生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產(chǎn)生位移，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0＜A＜45，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態(tài)，所述微動平面反射鏡設置在所述第二位移件上，隨第二位移件運動。