[實用新型]一種磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀

有效

• 申請號: 201520452679.8
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN204705316U
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 周春艷;張白
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪

1.一種磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀，包括有激光源、微動平面反射鏡、干涉測量光電探測器、移動平面反射鏡、分光鏡組和磁性微位移平臺，所述微動平面反射鏡設置在所述磁性微位移平臺上，所述激光源射出的激光束經所述分光鏡組后分為第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述微動平面反射鏡，經所述微動平面反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，再經分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，所述第二激光束射向所述移動平面反射鏡，經所述移動平面反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，經分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，所述第一激光束與第二激光束在射向所述干涉測量光電探測器時發生干涉，其特征在于，所述磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀還包括有反射測量光電探測器，所述第二激光束在由所述移動平面反射鏡射向所述分光鏡組后還形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射測量光電探測器；

所述磁性微位移平臺，包括有支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的位移裝置，所述支撐平臺上設置有第一位移件，所述第一位移件與所述位移裝置連接，所述位移裝置帶動所述第一位移件沿所述支撐平臺運動，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑動設置有第二位移件，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當第一位移件被所述位移裝置帶動而產生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產生位移，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0＜A＜45，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態，所述?微動平面反射鏡設置在所述第二位移件上，隨第二位移件運動。

2.如權利要求1所述的磁性微位移平臺式平面反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述分光鏡組包括有第一分光鏡和第二分光鏡，所述激光源射出的激光束先射到第一分光鏡，經第一分光鏡反射形成第一激光束，經第一分光鏡透射形成第二激光束，第一激光束射向所述微動平面反射鏡，經反射后再次射向所述第一分光鏡，然后再透射過所述第一分光鏡，所述第二激光束射向所述第二分光鏡，經所述第二分光鏡透射后射向所述移動平面反射鏡，經所述移動平面反射鏡反射后再射向所述第二分光鏡，經所述第二分光鏡透射后射向所述第一分光鏡，并且與從所述第一分光鏡透射出的第一激光束發生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉測量光電探測器，由所述移動平面反射鏡射向所述第二分光鏡的所述第二激光束還被所述第二分光鏡反射形成所述反射激光束。