[實用新型]一種電子級混合氣體自動配氣裝置

有效

• 申請號: 201520442175.8
• 申請日: 2015-06-25
• 公開（公告）號: CN204768546U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 劉曉林;董云峰;宗昭星;代偉娜;閆云;黃國慶;李曉昆;蘇玲燕;劉保鋒
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七一八研究所
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04;B01F15/02;B01F3/02
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 仇蕾安;楊志兵

技術領域

本實用新型涉及一種混合氣體配氣裝置，屬于混合氣體的配氣領域。

背景技術

傳統的混合氣配氣裝置大多是人工操作，操作人員須提前計算和設定每一組分原料氣體質量，然后再分別充裝，在氣體純度、配氣誤差、配氣效率等方面存在很多不足。目前，對于常規混合氣體的研究較多。專利CN201324604Y公開了一種標準混合氣體自動配氣裝置，有電子天平及進氣管，電子天平的輸出通過信號處理電路與電控閥控制器相接，可根據電子天平顯示的讀數之差來確定充裝到成品氣瓶中各組分的含量，并由電控閥門控制器控制閥門的開啟，實現自動充入組分氣體。但上述裝置主要針對標準混合氣體的配制，但由于原料氣體、環境氣體之間互相干擾，容易引起稱量誤差，并引入雜質氣體，降低了配氣的準確度和重復性。

隨著半導體器件和集成電路生產發展，對電子級混合氣體需求越來越多，要求也越來越高，要求氣體準確度高、穩定性好、雜質含量低。上述裝置對于高純電子混合氣體的制備存在其局限性。

發明內容

有鑒于此，本實用新型提供一種電子級混合氣體自動配氣裝置，該裝置配氣精確性高，穩定性好、雜質含量低，且能夠大大節省人力資源，提高工作效率。

所述的電子級混合氣體自動配氣裝置包括：原料氣瓶、溫控單元、真空單元、產品氣瓶、電子天平和控制單元；所述原料氣瓶包括組分氣瓶和稀釋氣瓶，所述溫控單元包括加熱裝置和控制所述加熱裝置開合的電磁閥；所述真空單元包括抽真空裝置和控制所述抽真空裝置開合的電磁閥。

其連接關系為：所述組分氣瓶通過依次設置有隔膜閥和電磁閥A的管路與氣體輸送管道的輸入端相連，所述稀釋氣瓶的出氣口通過依次設置有隔膜閥和電磁閥B的管路與氣體輸送管道的輸入端相連；在所述氣體輸送管道上分別設置溫控單元和真空單元；所述產品氣瓶放置在電子天平上，產品氣瓶通過設置有電磁閥C和單向閥的管路與氣體輸送管道的輸出端相連；所述電子天平的輸出終端與控制單元相連；上述所有電磁閥均與所述控制單元相連。

作為本實用新型的一種優選方式，所述加熱裝置為加熱帶或加熱絲。

作為本實用新型的一種優選方式，所述抽真空裝置為無油分子泵組。

有益效果為：

(1)該裝置配氣精度高，所配氣體雜質含量低，在裝置中設置有溫控單元和真空單元，通過真空單元在配氣前對氣體輸送管道抽真空，能夠消除雜質氣體的影響；溫控單元在配氣前對氣體輸送管道進行加熱，從而可以在真空條件下，消除水分的影響；由此使該裝置能夠達到電子級混合氣體配氣要求，從而配制出超純氣體。

(2)由于配氣過程中使用電磁閥控制，如果電磁閥控制失常，則會造成原料氣體污染，降低混合氣量值準確性。尤其對于有毒氣體，則有可能造成氣體泄漏，存在安全隱患。因此在產品氣瓶與電磁閥C之間設置單向閥，能夠避免閥門泄漏污染氣體。

(3)真空單元采用分子泵組，可在短時間內將氣體輸送管道抽至高真空狀態。

附圖說明

圖1為該自動配氣裝置的示意框圖。

其中：1-電子天平、2-單向閥、3-電磁閥C、4-電磁閥B、5-電磁閥A、6-隔膜閥、7-氣體輸送管道

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型作進一步的詳細描述。

本實施例提供一種電子級混合氣體自動配氣裝置，該配氣裝置的結構如圖1所示，包括：原料氣瓶、溫控單元、真空單元、電磁閥、單向閥2、產品氣瓶、電子天平1和控制單元。其中原料氣瓶包括組分氣瓶和稀釋氣瓶，本實施例中溫控單元采用高效的加熱帶或加熱絲，真空單元采用無油分子泵組，電子天平1采用高精度電子天平，即感量小于等于10mg的電子天平。

其連接關系為：所述組分氣瓶的出氣口通過依次設置有隔膜閥6和電磁閥A5的管路A與氣體輸送管道7的輸入端相連，所述稀釋氣瓶的出氣口通過依次設置有隔膜閥6和電磁閥B4的管路B與氣體輸送管道7的輸入端相連；所述電磁閥A5和電磁閥B4分別與控制單元相連。在所述氣體輸送管道7上分別設置有溫控單元和真空單元，用于控制溫控單元打開與關閉的電磁閥以及用于控制真空單元打開與關閉的電磁閥分別與控制單元相連。