[實用新型]一種電子級混合氣體自動配氣裝置

有效

• 申請號: 201520442175.8
• 申請日: 2015-06-25
• 公開（公告）號: CN204768546U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 劉曉林;董云峰;宗昭星;代偉娜;閆云;黃國慶;李曉昆;蘇玲燕;劉保鋒
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七一八研究所
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04;B01F15/02;B01F3/02
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 仇蕾安;楊志兵

1.一種電子級混合氣體自動配氣裝置，其特征在于，包括：原料氣瓶、溫控單元、真空單元、產品氣瓶、電子天平和控制單元；所述原料氣瓶包括組分氣瓶和稀釋氣瓶，所述溫控單元包括加熱裝置和控制所述加熱裝置開合的電磁閥；所述真空單元包括抽真空裝置和控制所述抽真空裝置開合的電磁閥；

其連接關系為：所述組分氣瓶通過依次設置有隔膜閥和電磁閥A的管路與氣體輸送管道的輸入端相連，所述稀釋氣瓶的出氣口通過依次設置有隔膜閥和電磁閥B的管路與氣體輸送管道的輸入端相連；在所述氣體輸送管道上分別設置溫控單元和真空單元；所述產品氣瓶放置在電子天平上，產品氣瓶通過設置有電磁閥C和單向閥的管路與氣體輸送管道的輸出端相連；所述電子天平的輸出終端與控制單元相連；上述所有電磁閥均與所述控制單元相連。

2.如權利要求1所述的電子級混合氣體自動配氣裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱帶或加熱絲。

3.如權利要求1所述的電子級混合氣體自動配氣裝置，其特征在于，所述抽真空裝置為無油分子泵組。