[實(shí)用新型]一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520434025.2
• 申請(qǐng)日: 2015-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN204740421U
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙燦東;黃定平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河源市璐悅自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 廣州凱東知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44259
• 代理人: 羅丹

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

在對(duì)觸摸屏的基板曝光作業(yè)中，對(duì)玻璃基板上光刻膠的厚度及平面均勻性要求極高，涂膠品質(zhì)差則容易造成曝光時(shí)局部過度曝光或曝光度不夠、視覺對(duì)位不準(zhǔn)確、線路的線寬線距不達(dá)標(biāo)、設(shè)備運(yùn)行不穩(wěn)定等等一系列影響。

現(xiàn)行的工作模式，平衡調(diào)節(jié)的方式是采用手動(dòng)調(diào)節(jié)好后進(jìn)行固定鎖緊的硬性連接，基于調(diào)整結(jié)構(gòu)在不斷運(yùn)動(dòng)磨合中的不穩(wěn)定性，缺少平衡自動(dòng)實(shí)時(shí)監(jiān)控反饋并實(shí)時(shí)修復(fù)的功能，導(dǎo)致涂布在玻璃基板上光刻膠或厚或薄極不均勻，每片基板的涂布效果各異，或出現(xiàn)膠面折皺波紋，或直接損傷玻璃基板等等不良結(jié)果，極大的影響后繼曝光工藝品質(zhì)，降低良品率，增加成本，加大勞動(dòng)強(qiáng)度。

現(xiàn)有技術(shù)存在以下缺陷：

1、手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大，誤差大，耗時(shí)長，效率低；

2、結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定造成膠液涂布平面均勻性差、波紋，品質(zhì)不穩(wěn)定；

3、涂布間隙無法精確保證，造成膠液涂布時(shí)損傷玻璃基板表面；

4、無法實(shí)時(shí)監(jiān)控及報(bào)警提示，自動(dòng)化作業(yè)時(shí)易造成批量性不良；

5、后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)受到限制。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提出一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，克服了手動(dòng)調(diào)整平衡平行度操作難度大，誤差大，耗時(shí)長，效率低等問題。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座、涂膠刮刀、涂膠刮刀龍門架、兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)、兩套步進(jìn)減速電機(jī)、兩個(gè)絲桿模組、兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件，所述涂膠刮刀龍門架安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，所述涂膠刮刀安裝在所述涂膠刮刀龍門架上；兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)安裝在所述涂膠刮刀龍門架的同一端與所述涂膠刮刀龍門架活動(dòng)連接，且與所述機(jī)構(gòu)固定座連接；一個(gè)步進(jìn)減速電機(jī)安裝在一個(gè)機(jī)構(gòu)固定座，所述步進(jìn)減速電機(jī)的輸出端通過絲桿模組與所述涂膠刮刀龍門架的一端活動(dòng)連接，兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件沿水平方向安裝在所述涂膠刮刀龍門架上。

進(jìn)一步，所述涂膠刮刀龍門架包括刀架A梁座、刀架B梁座、兩個(gè)刮刀安裝塊，所述刀架A梁座與所述刀架B梁座相互配合安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，兩個(gè)刮刀安裝塊安裝在所述刀架A梁座與所述刀架B梁座之間，一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過所述刀架A梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接，另一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過所述刀架B梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接。

進(jìn)一步，所述龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括依次連接的梁壁軸承壓塊、第一V型導(dǎo)軌、刀架軸承壓塊、軸承、第二V型導(dǎo)軌、梁壁滑塊。

進(jìn)一步，所述實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件包括依次連接的激光位移傳感器、傳感器安裝板、調(diào)節(jié)平臺(tái)、位移平臺(tái)安裝座、滑軌，所述滑軌安裝在所述刀架A梁座上，所述位移平臺(tái)安裝座與所述滑軌滑動(dòng)連接，所述激光位移傳感器的電信號(hào)輸出端與所述步進(jìn)減速電機(jī)電連接。

進(jìn)一步，所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)光電感應(yīng)開關(guān)，每套步進(jìn)減速電機(jī)與一個(gè)光電感應(yīng)開關(guān)電性連接。

本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，提升了工藝品質(zhì)，降代了成本，同時(shí)優(yōu)化后繼生產(chǎn)工藝升級(jí)的基礎(chǔ)。

1、設(shè)計(jì)工藝更加先進(jìn)，科學(xué)合理；

2、以其靈敏的平衡自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，以及對(duì)間隙精確的實(shí)時(shí)控制，可在玻璃基板上涂布厚度3um以上，平面均勻性優(yōu)良的光刻膠；

3、龍門架兩端采用進(jìn)口步進(jìn)減速電機(jī)+高清研磨絲桿驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工作中尺寸精確補(bǔ)償修正；

4、、龍門架聯(lián)接具備活性自動(dòng)補(bǔ)償功能，防止機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)中卡死；

5、實(shí)時(shí)自動(dòng)檢測(cè)反饋系統(tǒng)與兩端步進(jìn)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊交換，保證涂膠刮刀與玻璃基板在工作運(yùn)動(dòng)中的間隙、精準(zhǔn)平行度，從而保證涂膠品質(zhì)，提升良品質(zhì)，節(jié)約光刻膠用量成本；

6、平衡調(diào)節(jié)自動(dòng)化極大降低工人操作疲勞強(qiáng)度，節(jié)省時(shí)間，或者直接減少設(shè)備所需操作人員數(shù)量；

7、使操作變得方便，快捷，容易。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置一個(gè)實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置的拆分結(jié)構(gòu)示意圖。