[實(shí)用新型]一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520434025.2
• 申請(qǐng)日: 2015-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204740421U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙燦東;黃定平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河源市璐悅自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 廣州凱東知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44259
• 代理人: 羅丹

1.一種光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座、涂膠刮刀、涂膠刮刀龍門架、兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)、兩套步進(jìn)減速電機(jī)、兩個(gè)絲桿模組、兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件，所述涂膠刮刀龍門架安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，所述涂膠刮刀安裝在所述涂膠刮刀龍門架上；兩個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)安裝在所述涂膠刮刀龍門架的同一端與所述涂膠刮刀龍門架活動(dòng)連接，且與所述機(jī)構(gòu)固定座連接；一個(gè)步進(jìn)減速電機(jī)安裝在一個(gè)機(jī)構(gòu)固定座上，所述步進(jìn)減速電機(jī)的輸出端通過(guò)絲桿模組與所述涂膠刮刀龍門架的一端活動(dòng)連接，兩個(gè)實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件沿水平方向安裝在所述涂膠刮刀龍門架上。

2.如權(quán)利要求1所述的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述涂膠刮刀龍門架包括刀架A梁座、刀架B梁座、兩個(gè)刮刀安裝塊，所述刀架A梁座與所述刀架B梁座相互配合安裝在兩個(gè)機(jī)構(gòu)固定座之間，兩個(gè)刮刀安裝塊安裝在所述刀架A梁座與所述刀架B梁座之間，一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架A梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接，另一個(gè)龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)通過(guò)所述刀架B梁座與所述機(jī)構(gòu)固定座連接。

3.如權(quán)利要求1所述的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述龍門架活性自動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括依次連接的梁壁軸承壓塊、第一V型導(dǎo)軌、刀架軸承壓塊、軸承、第二V型導(dǎo)軌、梁壁滑塊。

4.如權(quán)利要求2所述的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述實(shí)時(shí)平衡檢測(cè)反饋元件包括依次連接的激光位移傳感器、傳感器安裝板、調(diào)節(jié)平臺(tái)、位移平臺(tái)安裝座、滑軌，所述滑軌安裝在所述刀架A梁座上，所述位移平臺(tái)安裝座與所述滑軌滑動(dòng)連接，所述激光位移傳感器的電信號(hào)輸出端與所述步進(jìn)減速電機(jī)電連接。

5.如權(quán)利要求1所述的光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述光刻膠自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)，每套步進(jìn)減速電機(jī)與一個(gè)光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)電性連接。