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[實(shí)用新型]一種提高多晶硅錠轉(zhuǎn)換效率的石英坩堝有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201520430905.2 申請(qǐng)日: 2015-06-19
公開(kāi)(公告)號(hào): CN204714945U 公開(kāi)(公告)日: 2015-10-21
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳文杰;甘大源;唐珊珊;楊濤;劉賽賽;王振剛 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 山東大海新能源發(fā)展有限公司
主分類號(hào): C30B28/06 分類號(hào): C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 濟(jì)南千慧專利事務(wù)所(普通合伙企業(yè)) 37232 代理人: 左建華
地址: 257300 *** 國(guó)省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 提高 多晶 轉(zhuǎn)換 效率 石英 坩堝
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種提高多晶硅錠轉(zhuǎn)換效率的石英坩堝,其特征是:包括坩堝本體,所述坩堝本體為包括底面和四個(gè)側(cè)壁的立體結(jié)構(gòu),所述底面為正方形且外側(cè)壁與底面相互垂直,在坩堝本體底面和四個(gè)側(cè)壁的內(nèi)表面從內(nèi)向外依次噴涂有石英砂涂層和氮化硅涂層,在坩堝本體的底面外側(cè)設(shè)有一限位凸塊,在坩堝本體的側(cè)壁頂部設(shè)有與限位凸塊相配合的限位凹槽,所述坩堝本體的外徑為1060mm,內(nèi)側(cè)壁之間通過(guò)半徑為14mm的圓弧角過(guò)渡,內(nèi)側(cè)壁與內(nèi)底面之間通過(guò)半徑為17mm的圓弧角過(guò)渡,所述坩堝本體側(cè)壁的底部厚度比頂部厚度大3mm。

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