[實用新型]一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺

有效

• 申請號: 201520419761.0
• 申請日: 2015-06-15
• 公開（公告）號: CN204964985U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 李喜玲;郭黨委
• 申請（專利權）人: 蘭州大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于曝光機配件領域，尤其涉及一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺。

背景技術

激光直寫儀由于受平臺尺寸的影響，只能操作直徑大于40mm片子，這對于科學實驗來說很不方便。實際的科研工作中由于受鍍膜儀載樣臺的限制，一般襯底的尺寸都在20mm×20mm左右，甚至有些特殊的襯底(比如砷化鎵)尺寸也大概在20mm×20mm，那么像這類科研中常要用到的較小片子，激光直寫機就無法很好的加工制備。此時常常需要把小片子用膠粘到大片子上進行操作，如果粘的不是很平整，就會引起涂膠不均勻或者曝光時聚焦狀態不一樣，從而影響最終的試驗結果。這就需要找到一種設計，既能滿足緊固小片子從而進行曝光操作，又能滿足多次曝光放樣角度差不能大于5mrad。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺，旨在解決激光直寫機由于受平臺尺寸的影響，對于小片子進行曝光很不方便的問題。

本實用新型是這樣實現的，一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺，所述樣品臺為包括光滑正、反兩相對面的方形玻璃片，所述樣品臺一邊側設有定位釘孔，且所述樣品臺反面設有環形凹槽以及若干條形凹槽；

所述樣品臺中心設有中心孔，以及以所述中心孔為中心對稱分布的若干通孔；各所述通孔與一條形凹槽一端對接，所述條形凹槽另一端朝遠離所述中心孔方向伸出并與環形凹槽對接；

所述樣品臺正面設有定位線，所述定位線與樣品臺設有定位釘孔的邊側平行。

優選地，所述樣品臺正面設有若干條彼此平行的所述定位線。

相比于現有技術的缺點和不足，本實用新型具有以下有益效果：

(1)本實用新型樣品臺上設有通孔，通過該通孔對樣品進行真空吸附，防止曝光時樣品滑動；本實用新型所采用真空吸附的方式，使得操作小尺寸樣品得以實現，可以對直徑大于20mm的片子進行曝光，無需將小片子用膠粘到大片子上，改善了以前激光直寫儀無法對小尺寸樣品進行曝光的缺陷。

(2)本實用新型通過引入定位線，保證了多層曝光的精度，可以很方便的對小片子進行多次曝光，另外對于較薄的小片子也完全可以很方便進行曝光操作。

附圖說明

圖1是本實用新型曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺在安裝樣品后的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺在安裝樣品后的平面結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1和2所示，其中，圖1是本實用新型曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺在安裝樣品后的立體結構示意圖；圖2是本實用新型曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺在安裝樣品后的平面結構示意圖。

一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺，所述樣品臺1為包括光滑正、反兩相對面的方形玻璃片，所述樣品臺1一邊側設有定位釘孔6，且所述樣品臺1反面設有環形凹槽2以及若干條形凹槽3；

所述樣品臺1中心設有中心孔，以及以所述中心孔為中心對稱分布的若干通孔4；各所述通孔4與一條形凹槽3一端對接，所述條形凹槽3另一端朝遠離所述中心孔方向伸出并與環形凹槽2對接；

所述樣品臺1正面設有定位線7，所述定位線7與樣品臺1設有定位釘孔6的邊側平行。

在本實用新型實施例中，樣品臺1是一個方形的玻璃片子，其尺寸為50mm×50mm，厚度為1mm。環形凹槽2的環內半徑為19mm，外半徑為22mm，深度為0.4mm。樣品臺1背面的導通條形凹槽3，其尺寸為1mm×20mm，深度為0.4mm。樣品臺1上的通孔4，孔徑1mm，孔深1mm。

在本實用新型的實際應用過程中，將樣品5置于樣品臺1正面的中心，將樣品臺1置于激光直寫平臺上，樣品臺1的中心孔與位于激光直寫平臺中心的真空吸附孔對接導通，而環形凹槽2把激光直寫大平臺上的真空吸附孔完全覆蓋，并且起到密閉氣體的作用，以中間孔為圓心半徑為10mm圓圈上的通孔4是通過條形凹槽3與環形凹槽2連接起來的。定位線7用以精準定位樣5。

此時，樣品臺1的通孔4、中心孔與激光直寫平臺的真空吸附孔連接起來，樣品5放置到樣品臺1上，且將樣品臺1上的通孔4、中心孔完全覆蓋，在激光直寫平臺抽真空作用下，就達到樣品5進行緊固的目的。