[實(shí)用新型]一種曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520419761.0
• 申請日: 2015-06-15
• 公開（公告）號: CN204964985U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李喜玲;郭黨委
• 申請（專利權(quán)）人: 蘭州大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于曝光機(jī)配件領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺。

背景技術(shù)

激光直寫儀由于受平臺尺寸的影響，只能操作直徑大于40mm片子，這對于科學(xué)實(shí)驗來說很不方便。實(shí)際的科研工作中由于受鍍膜儀載樣臺的限制，一般襯底的尺寸都在20mm×20mm左右，甚至有些特殊的襯底(比如砷化鎵)尺寸也大概在20mm×20mm，那么像這類科研中常要用到的較小片子，激光直寫機(jī)就無法很好的加工制備。此時常常需要把小片子用膠粘到大片子上進(jìn)行操作，如果粘的不是很平整，就會引起涂膠不均勻或者曝光時聚焦?fàn)顟B(tài)不一樣，從而影響最終的試驗結(jié)果。這就需要找到一種設(shè)計，既能滿足緊固小片子從而進(jìn)行曝光操作，又能滿足多次曝光放樣角度差不能大于5mrad。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺，旨在解決激光直寫機(jī)由于受平臺尺寸的影響，對于小片子進(jìn)行曝光很不方便的問題。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺，所述樣品臺為包括光滑正、反兩相對面的方形玻璃片，所述樣品臺一邊側(cè)設(shè)有定位釘孔，且所述樣品臺反面設(shè)有環(huán)形凹槽以及若干條形凹槽；

所述樣品臺中心設(shè)有中心孔，以及以所述中心孔為中心對稱分布的若干通孔；各所述通孔與一條形凹槽一端對接，所述條形凹槽另一端朝遠(yuǎn)離所述中心孔方向伸出并與環(huán)形凹槽對接；

所述樣品臺正面設(shè)有定位線，所述定位線與樣品臺設(shè)有定位釘孔的邊側(cè)平行。

優(yōu)選地，所述樣品臺正面設(shè)有若干條彼此平行的所述定位線。

相比于現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)和不足，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

(1)本實(shí)用新型樣品臺上設(shè)有通孔，通過該通孔對樣品進(jìn)行真空吸附，防止曝光時樣品滑動；本實(shí)用新型所采用真空吸附的方式，使得操作小尺寸樣品得以實(shí)現(xiàn)，可以對直徑大于20mm的片子進(jìn)行曝光，無需將小片子用膠粘到大片子上，改善了以前激光直寫儀無法對小尺寸樣品進(jìn)行曝光的缺陷。

(2)本實(shí)用新型通過引入定位線，保證了多層曝光的精度，可以很方便的對小片子進(jìn)行多次曝光，另外對于較薄的小片子也完全可以很方便進(jìn)行曝光操作。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺在安裝樣品后的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺在安裝樣品后的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

如圖1和2所示，其中，圖1是本實(shí)用新型曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺在安裝樣品后的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺在安裝樣品后的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

一種曝光機(jī)對較小片子進(jìn)行操作的樣品平臺，所述樣品臺1為包括光滑正、反兩相對面的方形玻璃片，所述樣品臺1一邊側(cè)設(shè)有定位釘孔6，且所述樣品臺1反面設(shè)有環(huán)形凹槽2以及若干條形凹槽3；

所述樣品臺1中心設(shè)有中心孔，以及以所述中心孔為中心對稱分布的若干通孔4；各所述通孔4與一條形凹槽3一端對接，所述條形凹槽3另一端朝遠(yuǎn)離所述中心孔方向伸出并與環(huán)形凹槽2對接；

所述樣品臺1正面設(shè)有定位線7，所述定位線7與樣品臺1設(shè)有定位釘孔6的邊側(cè)平行。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，樣品臺1是一個方形的玻璃片子，其尺寸為50mm×50mm，厚度為1mm。環(huán)形凹槽2的環(huán)內(nèi)半徑為19mm，外半徑為22mm，深度為0.4mm。樣品臺1背面的導(dǎo)通條形凹槽3，其尺寸為1mm×20mm，深度為0.4mm。樣品臺1上的通孔4，孔徑1mm，孔深1mm。

在本實(shí)用新型的實(shí)際應(yīng)用過程中，將樣品5置于樣品臺1正面的中心，將樣品臺1置于激光直寫平臺上，樣品臺1的中心孔與位于激光直寫平臺中心的真空吸附孔對接導(dǎo)通，而環(huán)形凹槽2把激光直寫大平臺上的真空吸附孔完全覆蓋，并且起到密閉氣體的作用，以中間孔為圓心半徑為10mm圓圈上的通孔4是通過條形凹槽3與環(huán)形凹槽2連接起來的。定位線7用以精準(zhǔn)定位樣5。

此時，樣品臺1的通孔4、中心孔與激光直寫平臺的真空吸附孔連接起來，樣品5放置到樣品臺1上，且將樣品臺1上的通孔4、中心孔完全覆蓋，在激光直寫平臺抽真空作用下，就達(dá)到樣品5進(jìn)行緊固的目的。