[實用新型]一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺有效
| 申請號： | 201520419761.0 | 申請日： | 2015-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN204964985U | 公開（公告）日： | 2016-01-13 |
| 發明（設計）人： | 李喜玲;郭黨委 | 申請（專利權）人： | 蘭州大學 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曝光 較小 片子 進行 操作 樣品 平臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺，其特征在于，所述樣品臺為包括光滑正、反兩相對面的方形玻璃片，所述樣品臺一邊側設有定位釘孔，且所述樣品臺反面設有環形凹槽以及若干條形凹槽；
所述樣品臺中心設有中心孔，以及以所述中心孔為中心對稱分布的若干通孔；各所述通孔與一條形凹槽一端對接，所述條形凹槽另一端朝遠離所述中心孔方向伸出并與環形凹槽對接；
所述樣品臺正面設有定位線，所述定位線與樣品臺設有定位釘孔的邊側平行。
2.如權利要求1所述的曝光機對較小片子進行操作的樣品平臺，其特征在于，所述樣品臺正面設有若干條彼此平行的所述定位線。
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