[實(shí)用新型]全自動真空熱蒸發(fā)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520394941.8
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN204918741U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳巧珍
• 申請（專利權(quán)）人: 陳巧珍
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種制備有機(jī)薄膜和電極的全自動真空熱蒸發(fā)裝置，屬于固態(tài)薄膜制備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

基于量子點(diǎn)的LED器件的制備需要多種工藝，包括使用勻膠機(jī)甩膜制備聚合物薄膜和量子點(diǎn)薄膜、使用真空熱蒸發(fā)制備有機(jī)薄膜和電極等。器件的表征和測試也會用到多種方法，比如用kethley測量基于量子點(diǎn)LED的電流特性、用熒光光譜儀測量器件的吸收譜和發(fā)射譜以及電致發(fā)光譜、用臺階儀標(biāo)定各膜層的厚度等等。其中，ITO玻璃的刻蝕過程以及注意事項，經(jīng)過這些步驟處理的玻璃基片已經(jīng)比較清潔，但是對于器件制備的需求來講，還是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。在每次器件制備之前，都需要對器件進(jìn)行一次系統(tǒng)的清洗。如果不能夠執(zhí)行嚴(yán)格的操作步驟，導(dǎo)致生產(chǎn)出的器件性能影響非常顯著。目前很多操作需要人工來完成，操作的精確度和產(chǎn)品的次品率較高，不能夠?qū)崿F(xiàn)充分的量產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。

本實(shí)用新型提供了一種全自動真空熱蒸發(fā)裝置，主要包括真空蒸鍍室、分子泵、機(jī)械泵、計算機(jī)和氮?dú)夤蓿稣婵照翦兪曳謩e通過管道與分子泵和機(jī)械泵連接，分子泵通過管道和機(jī)械泵連接，所述氮?dú)夤薹謩e連接真空蒸鍍室和計算機(jī)，計算機(jī)還連接有主控器。

優(yōu)選的，上述真空蒸鍍室和分子泵之間的連接管道中間設(shè)置有閘板閥，分子泵和機(jī)械泵之間的連接管道中間設(shè)置有擋板閥，真空蒸鍍室和機(jī)械泵之間的連接管道中間設(shè)置有旁抽閥。

優(yōu)選的，上述機(jī)械泵和真空蒸鍍室以及分子泵的兩部分連接管道互相交匯。

優(yōu)選的，在管道的交匯點(diǎn)和機(jī)械泵之間設(shè)置有熱偶，真空蒸鍍室的一端設(shè)置有電離。

優(yōu)選的，上述擋板閥設(shè)置在管道的交匯點(diǎn)和分子泵之間。

優(yōu)選的，上述主控器分別與分子泵和機(jī)械泵連接。

本實(shí)用新型提供的全自動真空熱蒸發(fā)裝置通過巧妙的設(shè)計，提供了一種非常高效安全的操作系統(tǒng)，能夠極大地提高生產(chǎn)器件的工作效率，并且大大降低產(chǎn)品的次品率，操作簡單方便。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1-真空蒸鍍室；2-分子泵；3-機(jī)械泵；4-閘板閥；5-擋板閥；6-旁抽閥；7-電離；8-熱偶；9-計算機(jī)；10-氮?dú)夤蓿?1-主控器。

具體實(shí)施方式

為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的全自動真空熱蒸發(fā)裝置，主要包括真空蒸鍍室1、分子泵2、機(jī)械泵3、計算機(jī)9和氮?dú)夤?0，真空蒸鍍室1分別通過管道與分子泵2和機(jī)械泵3連接，分子泵2通過管道和機(jī)械泵3連接，氮?dú)夤?0分別連接真空蒸鍍室1和計算機(jī)9，計算機(jī)9還連接有主控器11。

真空蒸鍍室1和分子泵2之間的連接管道中間設(shè)置有閘板閥4，分子泵2和機(jī)械泵3之間的連接管道中間設(shè)置有擋板閥5，真空蒸鍍室1和機(jī)械泵3之間的連接管道中間設(shè)置有旁抽閥6。機(jī)械泵3和真空蒸鍍室1以及分子泵2的兩部分連接管道互相交匯。在管道的交匯點(diǎn)和機(jī)械泵3之間設(shè)置有熱偶8，真空蒸鍍室1的一端設(shè)置有電離7。擋板閥5設(shè)置在管道的交匯點(diǎn)和分子泵2之間。主控器11分別與分子泵2和機(jī)械泵3連接。

分子泵2必須在前后兩端都低于10Pa才能啟動，否則容易損壞。熟悉真空操作的原理，對于熟練掌握操作流程，避免操作失誤非常重要。

本實(shí)用新型的操作方法是：

1、打開總控電源，打開機(jī)械泵3。

2、旋開真空蒸鍍室前門旋鈕，這樣做的目的是防止室內(nèi)壓力下降后無法打開真空蒸鍍室1門。

3、打開氮?dú)夤?0的通氣閥，按下放氣閥，向真空蒸鍍室1中沖入氮?dú)狻Ｕ婵照翦兪覂?nèi)部氣壓逐漸升高，等待前門彈開后，關(guān)閉放氣閥，并且關(guān)閉氮?dú)夤?0的通氣閥。

4、打開真空蒸鍍室前門，將玻璃基板放置在樣品架上，將鍍膜材料(有機(jī)物或者金屬材料)放在蒸發(fā)源內(nèi)。

5、關(guān)閉真空蒸鍍室1門，用手緊緊壓平蒸鍍室的前門，踩下腳踏式的旁抽閥，對真空蒸鍍室1進(jìn)行初步抽真空，大氣壓將真空蒸鍍室1緊緊關(guān)閉壓緊。

6、初步對真空蒸鍍室1抽真空之后，打開總控電源面板上的旁抽閥6(該旁抽閥6與腳踏式的旁抽閥6為同一個閥門)。注意：此時必須保證擋板閥5和閘板閥4處于關(guān)閉狀態(tài)。這一步是預(yù)抽真空階段，將真空蒸鍍室1的氣壓抽到比較低的真空度。

7、打開熱偶壓力計，熱偶壓力計指示此時真空蒸鍍室1的內(nèi)壓力，當(dāng)真空蒸鍍室1內(nèi)壓力低于10Pa后，關(guān)閉旁抽閥6。