[實用新型]全自動真空熱蒸發裝置

有效

• 申請號: 201520394941.8
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN204918741U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 陳巧珍
• 申請（專利權）人: 陳巧珍
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：所述真空系統主要包括真空蒸鍍室(1)、分子泵(2)、機械泵(3)、計算機(9)和氮氣罐(10)，所述真空蒸鍍室(1)分別通過管道與分子泵(2)和機械泵(3)連接，分子泵(2)通過管道和機械泵(3)連接，所述氮氣罐(10)分別連接真空蒸鍍室(1)和計算機(9)，計算機(9)還連接有主控器(11)。

2.根據權利要求1所述的全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：所述真空蒸鍍室(1)和分子泵(2)之間的連接管道中間設置有閘板閥(4)，分子泵(2)和機械泵(3)之間的連接管道中間設置有擋板閥(5)，真空蒸鍍室(1)和機械泵(3)之間的連接管道中間設置有旁抽閥(6)。

3.根據權利要求2所述的全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：所述機械泵(3)和真空蒸鍍室(1)以及分子泵(2)的兩部分連接管道互相交匯。

4.根據權利要求3所述的全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：在管道的交匯點和機械泵(3)之間設置有熱偶(8)，真空蒸鍍室(1)的一端設置有電離(7)。

5.根據權利要求3所述的全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：所述擋板閥(5)設置在管道的交匯點和分子泵(2)之間。

6.根據權利要求1-5之一所述的全自動真空熱蒸發裝置，其特征在于：所述主控器(11)分別與分子泵(2)和機械泵(3)連接。