[實用新型]干涉測量實驗系統

有效

• 申請號: 201520394750.1
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN204808719U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 陳巧珍
• 申請（專利權）人: 陳巧珍
• 主分類號: G09B23/22
• 分類號: G09B23/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種基于擴展光源的干涉測量實驗系統，屬于干涉儀領域。

背景技術

干涉現象是光的波動性的最嚴格、最有效的證明，這個現象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規則分布的結果。光干涉測量方法作為檢測高精密光學元件和系統的最傳統、有效手段之一，已大量的應用于科學研究與工業生產之中。在實際使用過程中，現階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強的時間和空間相干性，因此，在干涉檢測過程中，并不需要考慮干涉腔長的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對比度，并且隨著電子與計算機技術的發展，產生的位相干涉檢測技術，使測量極限由傳統的λ/10提高了一個數量級以上，且具有很高的重復性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學干涉的極端靈敏性，在光學元件加工過程中產生的微觀坑點等缺陷與元件表面污染所產生的散射光會發生相干疊加，在干涉圖中會出現許多牛眼環或靶心等相干噪聲，它們在一定程度上改變了干涉圖的空間結構，從而引起了被測面面型或波前形狀的測量誤差。

現階段的商用移相干涉儀，往往受到相干噪聲的嚴重影響，干涉測試的精度很難進一步得到提高，并且檢測到的光學元件面型信息往往丟失了部分高頻段的面型誤差，無法滿足對高功率固體激光驅動裝置中的大口徑光學元件的檢測要求。正因如此，抑制系統的相干噪聲，提高干涉系統的信噪比，擴展它的測量空間頻率范圍，消除非測量面雜散光干擾，一直是研制大口徑高分辨率干涉系統的核心難題之一。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，解決好現有技術的問題，彌補現有目前市場上現有產品的不足。

本實用新型提供了一種干涉測量實驗系統，由激光發射器、耦合器、擴束鏡、空間光調器、毛玻璃、分光鏡、成像透鏡和CCD構成，按照光路方向依次設置激光發射器、耦合器、擴束鏡、空間光調器、毛玻璃、分光鏡和成像透鏡，在成像透鏡后側設置有被測鏡，在分光鏡與激光發射器發射激光方向垂直的方向還設置有CCD。

優選的，上述毛玻璃為旋轉毛玻璃，配設有一微型直流電機。

優選的，上述激光發射器為He-Ne激光器，出射的光束波長為632.8nm。

優選的，上述耦合器由多個透鏡構成。

優選的，上述分光鏡和CCD之間設置有準直鏡。

本實用新型提供的干涉測量實驗系統利用單模激光器和空間光調制器構成可調擴展光源，實現了利用光源能量分布參數改變干涉儀空間相干性的功能，使干涉儀的空間相干長度調節成為可能。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖標記：1-激光發射器；2-耦合器；3-擴束鏡；4-空間光調器；5-毛玻璃；6-分光鏡；7-成像透鏡；8-被測鏡；9-準直鏡；10-CCD。

具體實施方式

為了便于本領域普通技術人員理解和實施本實用新型，下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本實用新型提供的干涉測量實驗系統，由激光發射器1、耦合器2、擴束鏡3、空間光調器4、毛玻璃5、分光鏡6、成像透鏡7和CCD10構成，按照光路方向依次設置激光發射器1、耦合器2、擴束鏡3、空間光調器4、毛玻璃5、分光鏡6和成像透鏡7，在成像透鏡7后側設置有被測鏡8，在分光鏡6與激光發射器1發射激光方向垂直的方向還設置有CCD10。

其中，毛玻璃5為旋轉毛玻璃，配設有一微型直流電機。激光發射器1為He-Ne激光器，出射的光束波長為632.8nm。耦合器2由多個透鏡構成。分光鏡6和CCD10之間設置有準直鏡9。

激光發射器1發出激光經過耦合器2后出射的光波為錐形會聚光波，當前后移動激光發射器1與擴束鏡距旋轉毛玻璃5的距離時，打在毛玻璃5上的光斑大小就會發生變化。隨著毛玻璃5的高速旋轉，即可使其上是被照明區域形成非相干(或部分相干)的圓形光源。

本實用新型提供的干涉測量實驗系統利用單模激光器和空間光調制器構成可調擴展光源，實現了利用光源能量分布參數改變干涉儀空間相干性的功能，使干涉儀的空間相干長度調節成為可能。

以上所述之具體實施方式為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本具體實施方式，凡依照本實用新型之形狀、結構所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內。