[實(shí)用新型]干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520394750.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204808719U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳巧珍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陳巧珍
• 主分類號(hào): G09B23/22
• 分類號(hào): G09B23/22
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于：干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)由激光發(fā)射器(1)、耦合器(2)、擴(kuò)束鏡(3)、空間光調(diào)器(4)、毛玻璃(5)、分光鏡(6)、成像透鏡(7)和CCD(10)構(gòu)成，按照光路方向依次設(shè)置激光發(fā)射器(1)、耦合器(2)、擴(kuò)束鏡(3)、空間光調(diào)器(4)、毛玻璃(5)、分光鏡(6)和成像透鏡(7)，在成像透鏡(7)后側(cè)設(shè)置有被測(cè)鏡(8)，在分光鏡(6)與激光發(fā)射器(1)發(fā)射激光方向垂直的方向還設(shè)置有CCD(10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于：所述毛玻璃(5)為旋轉(zhuǎn)毛玻璃，配設(shè)有一微型直流電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于：所述激光發(fā)射器(1)為He-Ne激光器，出射的光束波長(zhǎng)為632.8nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于：所述耦合器(2)由多個(gè)透鏡構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于：所述分光鏡(6)和CCD(10)之間設(shè)置有準(zhǔn)直鏡(9)。