[實用新型]一種平面陰極濺射擋板

有效

• 申請號: 201520392902.4
• 申請日: 2015-06-08
• 公開（公告）號: CN204999964U
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發明（設計）人: 董清世;周楓;蔡法清;高昌龍
• 申請（專利權）人: 信義節能玻璃（蕪湖）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C03C17/00
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 彭家恩;彭愿潔

技術領域

本實用新型涉及玻璃制造行業，更具體地說，涉及一種平面陰極濺射擋板。

背景技術

大面積連續鍍膜線上的平面陰極使用頻率很高，但隨著使用的時間延長，平面陰極內部的磁場會產生變化，或者由于一些其它因素的影響，都會造成平面陰極局部均勻性差的問題產生。雖然在生產中可以借助氣體對均勻性進行調整，但是調整的范圍有限，起不到實質性作用。

實用新型內容

本實用新型提供一種解決上述均勻性的技術問題的平面陰極濺射擋板。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

一種平面陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體和第二陰極擋板本體，所述第一陰極擋板本體與所述第二陰極擋板本體之間具有一個開口部位，所述第一陰極擋板本體上設置有與其平行且能夠沿其表面滑動的第一擋板，所述第二陰極擋板本體上設置有與其平行且能夠沿其表面滑動的第二擋板，所述第一擋板與所述第二擋板之間能夠相向滑動或者相背滑動，所述第一擋板與所述第二擋板之間相向滑動時將所述開口部位部分封蓋；所述第一擋板伸向所述開口部位的伸出部位為圓角，所述第二擋板伸向所述開口部位的伸出部位為圓角。

優選地，所述第一陰極擋板本體與所述第一擋板之間在平面方向的可調節距離范圍至少包括0mm-20mm，所述第二陰極擋板本體與所述第二擋板之間在平面方向的可調節距離范圍至少包括0mm-20mm。

優選地，所述第一擋板和所述第二擋板的形狀均為三角形，并且三角形的第一擋板和第二擋板的一個角為所述伸出部位，呈圓角。

優選地，所述第一擋板和所述第二擋板的形狀均為梯形，并且梯形的第一擋板和第二擋板的頂部為所述伸出部位，所述頂部的兩個頂角呈圓角。

本實用新型的有益效果體現在：通過在原來不可調的平面陰極濺射擋板的開口部位加設一對相互之間距離可調節的擋板，可以根據平面陰極局部均勻性差異來調節擋板的開口寬度，從而使平面陰極的均勻性達到生產要求。尤其是，所述第一擋板伸向所述開口部位的伸出部位以及所述第二擋板伸向所述開口部位的伸出部位均為圓角，能夠保證在濺射過程中不發生放電現象。

附圖說明

圖1為本實用新型一個實施例的平面陰極濺射擋板的正視圖；

圖2為本實用新型一個實施例的平面陰極濺射擋板的橫截面結構示意圖。

圖中：1-第一陰極擋板本體；2-第二陰極擋板本體；3-第一擋板；4-第二擋板。

具體實施方式

下面通過具體實施方式結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。

請參考圖1和圖2，本實用新型一個實施例的平面陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體1和第二陰極擋板本體2，第一陰極擋板本體1與第二陰極擋板本體2之間具有一個開口部位，第一陰極擋板本體1上設置有與第一陰極擋板本體1平行且能夠沿第一陰極擋板本體1表面滑動的第一擋板3，第二陰極擋板本體2上設置有與第二陰極擋板本體2平行且能夠沿第二陰極擋板本體2表面滑動的第二擋板4，第一擋板3與第二擋板4之間能夠相向滑動或者相背滑動，第一擋板3與第二擋板4之間相向滑動時將開口部位部分封蓋；第一擋板3伸向開口部位的伸出部位為圓角，第二擋板4伸向開口部位的伸出部位為圓角。

本實施例中，第一擋板3和第二擋板4的形狀均為三角形，并且三角形的第一擋板3和第二擋板4的一個角為伸出部位，呈圓角。

當然，第一擋板3和第二擋板4的形狀，根據具體需要也可以是其他形狀，只要是第一擋板3和第二擋板4的伸出部位具有圓角即可。例如，第一擋板3和第二擋板4的形狀均為梯形，并且梯形的第一擋板3和第二擋板4的頂部為上述伸出部位，上述頂部的兩個頂角呈圓角。

第一擋板3和第二擋板4的伸出部位呈圓角的特征，對于濺射時放電現象的控制至關重要。發明人發現，如果第一擋板3和第二擋板4的伸出部位呈尖角，濺射時容易發生放電現象，而圓角的伸出部位能夠有效避免放電現象。

需要說明的是，只要第一擋板3和第二擋板4的伸出部位呈圓角，擋板的具體形狀不限，可根據平面陰極均勻性自行設計；并且第一擋板3和第二擋板4的位置可根據平面陰極均勻性進行設定。