[實用新型]一種平面陰極濺射擋板有效
| 申請號： | 201520392902.4 | 申請日： | 2015-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN204999964U | 公開（公告）日： | 2016-01-27 |
| 發明（設計）人： | 董清世;周楓;蔡法清;高昌龍 | 申請（專利權）人： | 信義節能玻璃（蕪湖）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;彭愿潔 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 陰極 濺射 擋板 | ||
【權利要求書】：
1.一種平面陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體和第二陰極擋板本體，所述第一陰極擋板本體與所述第二陰極擋板本體之間具有一個開口部位，其特征在于，所述第一陰極擋板本體上設置有與其平行且能夠沿其表面滑動的第一擋板，所述第二陰極擋板本體上設置有與其平行且能夠沿其表面滑動的第二擋板，所述第一擋板與所述第二擋板之間能夠相向滑動或者相背滑動，所述第一擋板與所述第二擋板之間相向滑動時將所述開口部位部分封蓋；所述第一擋板伸向所述開口部位的伸出部位為圓角，所述第二擋板伸向所述開口部位的伸出部位為圓角。
2.根據權利要求1所述的平面陰極濺射擋板，其特征在于，所述第一陰極擋板本體與所述第一擋板之間在平面方向的可調節距離范圍至少包括0mm-20mm，所述第二陰極擋板本體與所述第二擋板之間在平面方向的可調節距離范圍至少包括0mm-20mm。
3.根據權利要求1所述的平面陰極濺射擋板，其特征在于，所述第一擋板和所述第二擋板的形狀均為三角形，并且三角形的第一擋板和第二擋板的一個角為所述伸出部位，呈圓角。
4.根據權利要求1所述的平面陰極濺射擋板，其特征在于，所述第一擋板和所述第二擋板的形狀均為梯形，并且梯形的第一擋板和第二擋板的頂部為所述伸出部位，所述頂部的兩個頂角呈圓角。
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