[實用新型]一種制備硅單晶用石墨加熱器

有效

• 申請號: 201520375743.7
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN205011863U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 郭艷旗
• 申請（專利權）人: 河南協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B35/00
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張春;王曉麗

技術領域

本實用新型屬于單晶硅生產技術領域，具體涉及一種制備單晶硅用石墨加熱器。

背景技術

目前單晶硅生產用石墨加熱器主體主要包括：圓柱形石墨加熱器(發熱體)、電極支腳及把電極支腳固定在發熱體上的小螺釘三部分組成，同時在固定加熱器支腳時，需在支腳和加熱器之間增加一層石墨紙。由于電極支腳與加熱器(發熱體)是分開的兩個配件，且需用石墨小螺釘緊固，緊固過程是由人來操作，存在緊固力度不一致，松緊不一的現象?，F有技術中將電極支腳做為可拆卸結構，因為電極支腳在電極之上，可能導致電極損壞，因此可更換電極支腳，然而生產中發現，電極支腳損壞的次數很少，反而由于石墨小螺釘離保溫筒比較近，在加熱過程中容易引起打火、短路現象，進而造成功率無法開啟，從而引發燜爐事故，造成更大的經濟損失。

發明內容

本實用新型的目的就在于為解決現有技術的不足而提供一種制備硅單晶用石墨加熱器。

本實用新型的目的是以下述技術方案實現的:

一種制備硅單晶用石墨加熱器，包括石墨加熱器本體及本體下方的電極支腳，所述加熱器本體與電極支腳為一體式結構。

所述電極支腳為2個或4個。

所述電極支腳上設通孔。

所述電極支腳上設加強腳。

本實用新型提供的制備單晶硅用石墨加熱器，具有以下優點：1、加熱器主體由原來的三個部件組合組成改為一個部件一體式結構，結構簡單；2、將石墨小螺釘部件和石墨紙去除，降低了生產成本；3、安裝過程簡單方便，節省了工作時間，提高工作效率；4、降低原分體加熱器在組裝過程中存在的安全隱患，降低安全事故的發生率，避免了因小螺釘引起的打火事故，減少了經濟損失。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是左側電極支腳的底部示意圖。

具體實施方式

本實用新型提供的制備單晶硅用石墨加熱器，如圖1及圖2所示，包括石墨加熱器本體1及本體下方的電極支腳2，所述加熱器本體1與電極支腳2加工為一體式結構。電極支腳2優選為2個或4個，電極支腳上設通孔3，電極支腳2上設加強腳4，使加熱器放置更為穩固，同時增大了與電極的接觸面積。本實用新型去除掉采用小螺釘加固支腳的方式，將電極支腳與加熱器(發熱體)做成一體結構，既不占用石墨加熱器的空腔，又能夠很好的將加熱器固定放置，同時又避免了因小螺釘打火造成的燜爐事故。