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[實用新型]一種制備硅單晶用石墨加熱器有效

專利信息
申請號: 201520375743.7 申請日: 2015-06-03
公開(公告)號: CN205011863U 公開(公告)日: 2016-02-03
發明(設計)人: 郭艷旗 申請(專利權)人: 河南協鑫光伏科技有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;C30B35/00
代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109 代理人: 張春;王曉麗
地址: 462000 河南*** 國省代碼: 河南;41
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 制備 硅單晶用 石墨 加熱器
【權利要求書】:

1.一種制備硅單晶用石墨加熱器,包括石墨加熱器本體及本體下方的電極支腳,其特征在于:所述加熱器本體與電極支腳為一體式結構;所述電極支腳上設加強腳。

2.如權利要求1所述的制備硅單晶用石墨加熱器,其特征在于:所述電極支腳為2個或4個。

3.如權利要求1所述的制備硅單晶用石墨加熱器,其特征在于:所述電極支腳上設通孔。

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