[實用新型]一種制備硅單晶用石墨加熱器有效
| 申請號: | 201520375743.7 | 申請日: | 2015-06-03 |
| 公開(公告)號: | CN205011863U | 公開(公告)日: | 2016-02-03 |
| 發明(設計)人: | 郭艷旗 | 申請(專利權)人: | 河南協鑫光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司: | 鄭州中原專利事務所有限公司 41109 | 代理人: | 張春;王曉麗 |
| 地址: | 462000 河南*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 制備 硅單晶用 石墨 加熱器 | ||
【權利要求書】:
1.一種制備硅單晶用石墨加熱器,包括石墨加熱器本體及本體下方的電極支腳,其特征在于:所述加熱器本體與電極支腳為一體式結構;所述電極支腳上設加強腳。
2.如權利要求1所述的制備硅單晶用石墨加熱器,其特征在于:所述電極支腳為2個或4個。
3.如權利要求1所述的制備硅單晶用石墨加熱器,其特征在于:所述電極支腳上設通孔。
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