[實用新型]單片集成在高折射率襯底的亞波長金屬光柵偏振片有效
| 申請號: | 201520372295.5 | 申請日: | 2015-06-02 |
| 公開(公告)號: | CN204679671U | 公開(公告)日: | 2015-09-30 |
| 發明(設計)人: | 王瑞;李淘;邵秀梅;曹高奇;李雪;龔海梅 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號: | G02B5/30 | 分類號: | G02B5/30 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
| 地址: | 200083 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單片 集成 折射率 襯底 波長 金屬 光柵 偏振 | ||
【權利要求書】:
1.一種單片集成在高折射率襯底的亞波長金屬光柵偏振片,由襯底(3)、低折射率介質層(2)和亞波長金屬光柵層(1)構成,其特征在于:
所述的亞波長金屬光柵偏振片結構為:從襯底(3)自下而上依次是低折射率介質層(2)、亞波長金屬光柵層(1);
所述的低折射率介質層(2)的折射率在1.3至2.5之間,厚度H是50-1000納米;
所述的亞波長金屬光柵(1)的周期p是100-400納米,厚度h是80-200納米,占空比w/p是0.4-0.6。
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