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[實用新型]單片集成在高折射率襯底的亞波長金屬光柵偏振片有效

專利信息
申請號: 201520372295.5 申請日: 2015-06-02
公開(公告)號: CN204679671U 公開(公告)日: 2015-09-30
發明(設計)人: 王瑞;李淘;邵秀梅;曹高奇;李雪;龔海梅 申請(專利權)人: 中國科學院上海技術物理研究所
主分類號: G02B5/30 分類號: G02B5/30
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單片 集成 折射率 襯底 波長 金屬 光柵 偏振
【權利要求書】:

1.一種單片集成在高折射率襯底的亞波長金屬光柵偏振片,由襯底(3)、低折射率介質層(2)和亞波長金屬光柵層(1)構成,其特征在于:

所述的亞波長金屬光柵偏振片結構為:從襯底(3)自下而上依次是低折射率介質層(2)、亞波長金屬光柵層(1);

所述的低折射率介質層(2)的折射率在1.3至2.5之間,厚度H是50-1000納米;

所述的亞波長金屬光柵(1)的周期p是100-400納米,厚度h是80-200納米,占空比w/p是0.4-0.6。

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