[實(shí)用新型]一種硅單晶片研磨用的研磨液回收裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520357281.6 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN204686671U | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-10-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孫智武;陳衛(wèi)群;李海濤;李建剛;楊波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 麥斯克電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B57/00 | 分類號(hào)： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 羅民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛陽(yáng)*** | 國(guó)省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶片 研磨 回收 裝置 | ||
1.一種硅單晶片研磨用的研磨液回收裝置，其特征在于：包括研磨液過(guò)濾罐（4）、循環(huán)供應(yīng)罐（1）和設(shè)置在循環(huán)供應(yīng)罐（1）內(nèi)的供應(yīng)泵（2），供應(yīng)泵（2）通過(guò)帶有控制閥的供液管（3）將循環(huán)供應(yīng)罐（1）內(nèi)的研磨液輸送給研磨機(jī)，研磨機(jī)排出的研磨液流入研磨液過(guò)濾罐（4）中，且研磨液過(guò)濾罐（4）的罐口處設(shè)置有過(guò)濾研磨液的過(guò)濾網(wǎng)（5），所述循環(huán)供應(yīng)罐（1）內(nèi)還設(shè)置有用于將研磨液過(guò)濾罐（4）內(nèi)經(jīng)過(guò)過(guò)濾的研磨液吸入到循環(huán)供應(yīng)罐（1）內(nèi)并進(jìn)行攪拌混合的攪拌泵（6）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅單晶片研磨用的研磨液回收裝置，其特征在于：所述循環(huán)供應(yīng)罐（1）的上部設(shè)置有凹陷，研磨液過(guò)濾罐（4）設(shè)置在該凹陷內(nèi)，且其頂部與循環(huán)供應(yīng)罐（1）的頂部平齊，研磨液過(guò)濾罐（4）的底部設(shè)置有通孔，攪拌泵（6）的吸液口與該通孔連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅單晶片研磨用的研磨液回收裝置，其特征在于：所述供液管（3）上設(shè)置帶有閥門的排液管（7），排液管（7）的一端連接在供應(yīng)泵（2）與控制閥之間的位置，另一端通入研磨液廢棄池。
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