[實用新型]一種PECVD設備用螺套結構

有效

• 申請號: 201520353562.4
• 申請日: 2015-05-28
• 公開（公告）號: CN204664114U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 黃惠良;趙繼鴻;李雪峰;夏國帥
• 申請（專利權）人: 上海鴻輝光通科技股份有限公司
• 主分類號: F16B37/12
• 分類號: F16B37/12
• 代理公司: 上海灣谷知識產權代理事務所(普通合伙) 31289
• 代理人: 倪繼祖

技術領域

本實用新型涉及螺套，尤其涉及用于PECVD(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，等離子體增強化學氣相沉積法)設備的螺套結構。

背景技術

在PLC(可編程控制器件)晶圓生產中，PECVD設備的應用作為第一道也是最重要的一道工序，生長core?deposition(核心沉積)。但因為PECVD屬于高溫真空設備，保養前后降溫升溫，設備中的金屬螺絲熱脹冷縮極容易產生chamber?leak(室漏氣)，不能使腔體長久保持真空環境，所以每次保養完都要再次擰緊螺絲。長此以往，設備使用過程中出現的螺紋潰牙、螺套突出螺紋槽極易產生chamber?leak。如圖1所示，PECVD鋁制腔體底部鋼絲螺套100很緊密地嵌套在螺紋槽200里，經常保養降溫升溫后，再重新擰緊螺絲出現鋼絲螺紋螺套滑牙和突出螺紋槽，使腔體不能保持真空環境。因此，通過設計合適的螺套結構，以長久保持腔體的真空環境，是本領域技術人員需要解決的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種PECVD設備用螺套結構，增加鋁制螺紋強度承受更大拉力，長久保持腔體密封真空環境。

實現上述目的的技術方案是：

一種PECVD設備用螺套結構，包括：

開設在PECVD設備腔體底部的螺紋槽；以及

槽口向下地擰入所述螺紋槽的自攻螺套。

在上述的PECVD設備用螺套結構中，所述自攻螺套為不銹鋼材質。

在上述的PECVD設備用螺套結構中，所述自攻螺套的型號為M6*1*12mm，外螺紋M9*1mm。

本實用新型的有益效果是：本實用新型通過采用不銹鋼自攻螺套，使其與鋁制腔體及螺絲接觸面更大且無間隙，承受更大拉力，從而能長久使用相同的螺絲，長久保持腔體密封真空環境和提高生產效率。

附圖說明

圖1是現有技術的PECVD腔體底部的鋼絲螺套結構圖；

圖2是本實用新型的PECVD設備用螺套結構的結構圖；

圖3是本實用新型中自攻螺套擰入螺紋槽的狀態圖。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。

請參閱圖2，本實用新型的PECVD設備用螺套結構，包括：螺紋槽1和自攻螺套2。螺紋槽1開設在PECVD設備腔體3底部，自攻螺套2槽口向下地擰入螺紋槽1。本實施例中，自攻螺套2為不銹鋼材質，其型號為M6*1*12mm，外螺紋M9*1mm。

本實用新型將現有技術中的鋼絲螺紋螺套換成不銹鋼自攻螺套。請參閱圖3，自攻螺套2通過鎖入工具4擰入PECVD設備腔體3的螺紋槽1。這樣，即使經常需要保養降溫升溫，自攻螺套2也會和PECVD設備腔體3緊密貼合，長久保持腔體的真空環境。

以上實施例僅供說明本實用新型之用，而非對本實用新型的限制，有關技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術方案也應該屬于本實用新型的范疇，應由各權利要求所限定。