[實用新型]一種PECVD設備用螺套結構有效
| 申請號： | 201520353562.4 | 申請日： | 2015-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN204664114U | 公開（公告）日： | 2015-09-23 |
| 發明（設計）人： | 黃惠良;趙繼鴻;李雪峰;夏國帥 | 申請（專利權）人： | 上海鴻輝光通科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F16B37/12 | 分類號： | F16B37/12 |
| 代理公司： | 上海灣谷知識產權代理事務所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 倪繼祖 |
| 地址： | 201822 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pecvd 備用 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種PECVD設備用螺套結構，其特征在于，包括：
開設在PECVD設備腔體底部的螺紋槽；以及
槽口向下地擰入所述螺紋槽的自攻螺套。
2.根據權利要求1所述的PECVD設備用螺套結構，其特征在于，所述自攻螺套為不銹鋼材質。
3.根據權利要求1所述的PECVD設備用螺套結構，其特征在于，所述自攻螺套的型號為M6*1*12mm，外螺紋M9*1mm。
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