[實用新型]一種NH₃氣供應系統的偵測裝置有效

申請號：	201520334479.2	申請日：	2015-05-22
公開（公告）號：	CN204693033U	公開（公告）日：	2015-10-07
發明（設計）人：	丁雙根;太雙;刁春華;周鵬	申請（專利權）人：	中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
主分類號：	F17C13/02	分類號：	F17C13/02
代理公司：	上海光華專利事務所 31219	代理人：	唐棉棉
地址：	100176 北京市大興區大***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 nh sub 供應系統偵測裝置
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，特別是涉及一種NH₃氣供應系統的偵測裝置。

背景技術

在半導體行業中，NH₃氣體系統的應用是非常廣泛的，它被用于整個工廠各個重要的制程區域,同時氣體的工藝要求非常高,如果工藝的問題導致制成的中斷，將是對全廠造成重大影響。中芯國際上海廠由于受到產能的需求，NH₃氣體的需求從建廠初期的每天10Lbs擴充到50Lbs，系統的需求將有了NH₃BSGS的系統的擴充，如何達到安全穩定將是我們追求的目標。

現有的NH₃氣供應系統如圖1所示，該系統是將NH₃鋼瓶11，例如Y鋼瓶(Y-Cylinder)，供應到主閥箱(VDB)，再從主閥箱的stick連接點傳輸到氣體分配箱(VMB)或氣體分配盤(VMP)，再通過氣體管路(HOOK?UP)配管到各個機臺。如果Y鋼瓶用完或者出現故障，可以改用氣瓶柜(Gas?Cabinet，G/C)中備用的NH₃鋼瓶來供應。

但是現有的NH₃氣供應系統有如下問題：(1)日常更換鋼瓶頻繁，與鋼瓶口連接的管道(Pigtail)易于被NH₃氣腐蝕而發生泄漏；(2)NH₃氣為液態氣體，需要使用加熱夾克將液態NH₃轉變為氣態NH₃，如果加熱夾克發生故障，將會導致NH₃氣從泄壓閥處泄漏。為了能及時監測到NH₃氣是否發生泄漏，目前會在Pigtail處設置一偵測器，但是由于Pigtail處為敞開的空間，對于真實監測有一定的影響。

因此，提供一種新的NH₃氣供應系統的偵測裝置實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種NH₃氣供應系統的偵測裝置，用于解決現有技術中無法真實準確地監測到NH₃氣鋼發生漏泄的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種NH₃氣供應系統的偵測裝置，所述偵測裝置至少包括：

NH₃氣供應鋼瓶，所述NH₃氣供應鋼瓶的鋼瓶口連接有供應管道；

盒體，底部開口且罩設在所述NH₃氣供應鋼瓶上；

支架，支撐所述盒體并引導所述盒體移動；

風管，與所述盒體相連；

偵測器，安裝在所述風管中。

作為本實用新型NH₃氣供應系統的偵測裝置的一種優化的結構，所述支架包括支撐柱、固定于所述支撐柱之間的第一橫梁、與所述第一橫梁垂直且能在所述第一橫梁長度方向上移動的第二橫梁。

作為本實用新型NH₃氣供應系統的偵測裝置的一種優化的結構，所述盒體放置于所述第二橫梁上，且盒體能在所述第二橫梁長度方向上移動，所述第二橫梁通過滑軌在第一橫梁上滑動。

作為本實用新型NH₃氣供應系統的偵測裝置的一種優化的結構，所述支架包括一對支架，每一個支架上各放置一個盒體。