[實用新型]一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520334479.2 | 申請日： | 2015-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN204693033U | 公開（公告）日： | 2015-10-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 丁雙根;太雙;刁春華;周鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | F17C13/02 | 分類號： | F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 nh sub 供應(yīng) 系統(tǒng) 偵測 裝置 | ||
1.一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于，所述偵測裝置至少包括：
NH3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道；
盒體，底部開口且罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上；
支架，支撐所述盒體并引導(dǎo)所述盒體移動；
風(fēng)管，與所述盒體相連；
偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述支架包括支撐柱、固定于所述支撐柱之間的第一橫梁、與所述第一橫梁垂直且能在所述第一橫梁長度方向上移動的第二橫梁。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述盒體放置于所述第二橫梁上，且盒體能在所述第二橫梁長度方向上移動，所述第二橫梁通過滑軌在第一橫梁上滑動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述支架包括一對支架，每一個支架上各放置一個盒體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述風(fēng)管至少包括：分別與每一個盒體相連的軟管、連接在所述軟管之間的支撐硬管以及與所述支撐硬管連通的垂直管道。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述偵測器安裝在軟管內(nèi)壁上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述垂直管道通過一彎管與一閥箱相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶外表面包覆有加熱夾克。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶?上還設(shè)置有泄壓閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于：所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶的瓶口通過供應(yīng)管道依次與主閥箱、氣體分配箱或氣體分配盤配管相連，最后供應(yīng)到各個生產(chǎn)機臺。
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