[實用新型]一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備

有效

• 申請號: 201520325066.8
• 申請日: 2015-05-19
• 公開（公告）號: CN204723948U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發明（設計）人: 馮鋒;左新章;成來飛;鄔國平;馬玉潔;李華民
• 申請（專利權）人: 西安鑫垚陶瓷復合材料有限公司
• 主分類號: B01D47/12
• 分類號: B01D47/12
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 楊亞婷

1.一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，包括依次相連的進氣管路、吸附裝置及排氣管路，其特征在于：所述吸附裝置包括金屬罐體、設置在金屬罐體內的有機物吸附組件和油霧噴灑組件及吸附油，

所述金屬罐體上設置有尾氣入口和凈化氣出口，所述尾氣入口與進氣管路連接，所述凈化氣出口與排氣管路連接，

所述油霧噴灑組件的噴油口位于尾氣入口下方且朝向尾氣入口，所述油霧噴灑組件的進油口與吸附油相連通，所述有機物吸附組件位于噴油口的下方吸附油的上方，所述凈化氣出口低于有機物吸附組件而高于吸附油油面。

2.根據權利要求1所述的用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：所述油霧噴灑組件包括依次連接的動力裝置、壓力管路及多個噴油器，所述多個噴油器的出口均為油霧噴灑組件的噴油口；

所述動力裝置包括壓力桶、活塞，所述壓力桶為金屬罐體底部的一個凹腔，所述活塞位于壓力桶內，所述活塞正對壓力桶的頂部，所述吸附油位于金屬罐體的底部，所述吸附油的液面高于壓力桶的頂部，所述壓力桶的頂部設置有一活頁，所述活頁與壓力桶上表面重合區域設置有一進油口，該進油口為油霧噴灑組件的進油口，

所述進油口與壓力管路的入口連接，所述尾氣入口設置在金屬罐體的頂部。

3.根據權利要求2所述的用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：所述壓力桶、活塞的材質為高分子材料。

4.根據權利要求3所述的用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：所述動力裝置還包括永磁鐵、電磁感應線圈、脈沖電流發生器，所述永磁鐵固定于活塞的下方，所述電磁感應線圈固定于壓力桶中且位于永磁鐵下方與永磁鐵相對，所述脈沖電流發生器與電磁感應線圈連接。

5.根據權利要求1或2或3或4所述的一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：

所述有機物吸附組件包括多個平行的子吸附組件，多個子吸附組件沿金屬罐體高度方向依次設置，每個子吸附組件包括吸附坩堝、設置在吸附坩堝底部的多個相互平行的石墨碳氈條及設置在吸附坩堝底部及側面的多個通氣孔，

由上至下，多個子吸附組件中石墨碳氈條之間的間隙減小，相鄰兩個子吸附組件上的石墨碳氈條排列方向不同。

6.根據權利要求5所述的一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：相鄰兩個吸附坩堝底部的通氣孔錯開設置，相鄰兩個子吸附組件上的石墨碳氈條排列方向垂直。

7.根據權利要求6所述的一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：所述吸附坩堝邊緣向內開有多個凹槽，所述金屬罐體內由上至下設置有數量與吸附坩堝數量相同的承載平臺，所述承載平臺由設置在金屬罐體內壁上與凹槽相配合的凸臺組成,所述凸臺的上表面均在同一平面上。

8.根據權利要求7所述的一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，其特征在于：

所述吸附坩堝高度為50mm～100mm,壁厚為10～15mm，且吸附坩堝外周距金屬罐體內壁的距離為10～30mm；所述石墨碳氈條的高度與附坩堝高度相同，所述石墨碳氈條的寬度為10～15mm，所述吸附坩堝上的通氣孔直徑為10～20mm，且相鄰兩通氣孔中心軸線的距離為30～50mm。