[實用新型]一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備

有效

• 申請號: 201520325066.8
• 申請日: 2015-05-19
• 公開（公告）號: CN204723948U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發明（設計）人: 馮鋒;左新章;成來飛;鄔國平;馬玉潔;李華民
• 申請（專利權）人: 西安鑫垚陶瓷復合材料有限公司
• 主分類號: B01D47/12
• 分類號: B01D47/12
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 楊亞婷

技術領域

本實用新型涉及尾氣處理裝置領域，具體涉及一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備。

背景技術

在利用化學氣相沉積/化學氣相滲透(簡稱CVD/CVI)制備復合材料時，尾氣處理是一難題。陶瓷基復合材料是代替金屬材料的一種新型材料，具有耐高溫、耐腐蝕、低密度、高強度的杰出優點，在航空、航天、武器裝備等領域有著廣闊的應用前景。在CVD/CVI制備陶瓷基復合材料過程中，爐內通入H2、Ar及有機硅烷，發生多級反應后的尾氣中包含未分解的有機硅烷、反應產物HCl、分解產物焦油、沉淀產物粒子、載氣H2和稀釋Ar等。反應產物中的烴類、焦油等會隨著尾氣溫度下降而液化成粘度較大有機物附著在管道、閥門、真空泵等器件內壁上，影響活動構件的運動及控制功能，造成系統密封效果下降。另外，粘度較大的有機物還會影響泵油流動性，導致真空泵轉子的運轉能力下降，造成真空泵抽力不足或者開啟困難(卡泵)以及真空泵異常磨損等現象，影響正常的制備工藝。因此，在前級除去粘度較大的有機物，不但能夠提高金屬器件的工作穩定性，還能夠節省真空機組頻繁清理帶來的額外勞動力，現有的尾氣處理裝置不能充分的對固、液有機物進行過濾，且設備占用較大場地面積。

發明內容

為了降低尾氣中的雜質含量，減小尾氣對后續設備的損害，本實用新型提供一種可以在前級對尾氣中的固、液有機物進行充分過濾，可以大幅度的降低尾氣中固、液有機物的含量，提高后續金屬器件的工作安全系數的一種用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備。

本實用新型所提供的用于CVD/CVI工藝的尾氣處理設備，包括依次相連的進氣管路、吸附裝置及排氣管路，其特殊之處在于：所述吸附裝置包括金屬罐體、設置在金屬罐體內的有機物吸附組件和油霧噴灑組件及吸附油，

所述金屬罐體上設置有尾氣入口和凈化氣出口，所述尾氣入口與進氣管路連?接，所述凈化氣出口與排氣管路連接，

所述油霧噴灑組件的噴油口位于尾氣入口下方且朝向尾氣入口，所述油霧噴灑組件的進油口與吸附油相連通，所述有機物吸附組件位于噴油口的下方吸附油的上方，所述凈化氣出口低于有機物吸附組件而高于吸附油油面；

放置在吸附組件下方的吸附油經油霧噴灑組件提升至噴油口并從噴油口向上噴出，之后，部分經有機物吸附組件吸附成為有機物吸附組件的一部分，部分回落至吸附油；尾氣從尾氣入口進入金屬罐體流經噴油口處初步過濾并同時分離出部分固、液雜質，固、液雜質落于有機物吸附組件上，經初步過濾的尾氣再進入有機物吸附組件進行二次過濾，之后接觸吸附油進行三次過濾，最后由凈化氣出口排出。

上述油霧噴灑組件包括依次連接的動力裝置、壓力管路及多個噴油器，所述多個噴油器的出口均為油霧噴灑組件的噴油口；

所述動力裝置包括壓力桶、活塞，所述壓力桶為金屬罐體底部的一個凹腔，所述活塞位于壓力桶內，所述活塞正對壓力桶的頂部，所述吸附油位于金屬罐體的底部，所述吸附油的液面高于壓力桶的頂部，所述壓力桶的頂部設置有一活頁，所述活頁與壓力桶上表面重合區域設置有一進油口，該進油口為油霧噴灑組件的進油口，

所述進油口與壓力管路的入口連接，所述尾氣入口設置在金屬罐體的頂部。

上述壓力桶、活塞的材質為高分子材料。

上述動力裝置還包括永磁鐵、電磁感應線圈、脈沖電流發生器，所述永磁鐵固定于活塞的下方，所述電磁感應線圈固定于壓力桶中且位于永磁鐵下方與永磁鐵相對，所述脈沖電流發生器與電磁感應線圈連接。

上述有機物吸附組件包括多個平行的子吸附組件，多個子吸附組件沿金屬罐體高度方向依次設置，每個子吸附組件包括吸附坩堝、設置在吸附坩堝底部的多個相互平行的石墨碳氈條及設置在吸附坩堝底部及側面的多個通氣孔，

由上至下，多個子吸附組件中石墨碳氈條之間的間隙減小，相鄰兩個子吸附組件上的石墨碳氈條排列方向不同。

上述相鄰兩個吸附坩堝底部的通氣孔錯開設置，相鄰兩個子吸附組件上的石墨碳氈條排列方向垂直。

上述吸附坩堝邊緣向內開有多個凹槽，所述金屬罐體內由上至下設置有數量與吸附坩堝數量相同的承載平臺，所述承載平臺由設置在金屬罐體內壁上與凹槽相配合的凸臺組成,所述凸臺的上表面均在同一平面上。

上吸附坩堝高度為50mm～100mm,壁厚為10～15mm，且吸附坩堝外周距金屬罐體內壁的距離為10～30mm；所述石墨碳氈條的高度與附坩堝高度相同，所述石墨碳氈條的寬度為10～15mm，所述吸附坩堝上的通氣孔直徑為10～20mm，且相鄰兩通氣孔中心軸線的距離為30～50mm。