[實用新型]一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板

有效

• 申請號: 201520320371.8
• 申請日: 2015-05-18
• 公開（公告）號: CN204714880U
• 公開（公告）日: 2015-10-21
• 發明（設計）人: 楊洋;秦校軍;趙志國;王一丹;鄔俊波
• 申請（專利權）人: 中國華能集團清潔能源技術研究院有限公司;中國華能集團公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賈玉健

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜用的掩膜板，具體涉及一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板。

背景技術

真空蒸鍍是指在高真空環境下,將待成膜的物質加熱升華后在低溫基片上凝結析出并形成一層薄膜的過程。

太陽能電池電極的掩膜板由多個分隔開的格子組成。每個格子內可放置一塊玻璃基片。格子內的蒸鍍區域為若干個并排的長條。每個長條對應一個電極。其中最邊緣的電極的極性與其它幾個相反。其它部分則被掩膜板底座遮擋。常規的太陽能電池電極的掩膜板的格子尺寸是固定的，并且與某特定大小基片的尺寸相匹配。但是玻璃基片的制作和切割工藝存在多種不確定因素，尤其是有些時候需要由人工完成最后的切割步驟。因此實際切割出來的基片可能會略微偏離標準尺寸。如果掩膜板的格子尺寸是固定的，則偏大的基片就可能無法放入格子中。即使基片的尺寸符合標準尺寸，人工掰斷的過程中也有可能產生凸出的尖角，從而導致基片無法放入格子中。如果因此導致經過多部工藝處理過的基片無法繼續使用，便會造成基片和材料的浪費。另一方面，設計格子尺寸時使之適當地偏大并不是一種可取的方案。在偏大的格子里，原本尺寸適合甚至偏小的基片就會隨著掩膜板的旋轉而不斷滑動，從而導致蒸鍍的電極形狀無法控制。

發明內容

為了克服上述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，既可以容納稍微偏大的玻璃基片，也不會導致偏小的基片在掩膜板旋轉時滑動。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，包括底座2，底座2和分隔板6是分離的，底座2和分隔板6連接組合后形成兩個以上的正方形或者長方形的格子1，每個格子1內除蒸鍍長條4外都被底座2遮擋，格子1的大小通過控制分隔板6的位置和數目來調控。

所述的格子1之間留有兩個以上的組裝分隔板6的安裝位置。

所述的底座2外欄上每兩個格子1之間設計兩個以上的放置分隔板6的第一凹槽3。

所述的分隔板6分為橫向分隔板6a和縱向分隔板6b,其中，橫向分隔板6a具有朝上的第二凹槽5a，縱向分隔板6b具有朝下的第三凹槽5b，第二凹槽5a、第三凹槽5b的深度等于分隔板6深度的一半，兩類分隔板6都可安放到底座2上，并且通過第一凹槽3固定。

本實用新型的有益效果為：由于格子1大小可以調控，所以既可以容納稍微偏大的玻璃基片，也不會導致偏小的基片在掩膜板旋轉時滑動。

附圖說明

圖1為橫向和縱向各有三排格子1的底座2示意圖。

圖2為圖1的底座2外欄有多個第一凹槽3的示意圖。

圖3為分隔板6示意圖，其中圖3(a)具有朝上的第三凹槽5a，圖(b)具有朝下的第三凹槽5b。

圖4為實施例格子1最小時分隔板6的放置方式。

圖5為實施例存放最多分隔板6的示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型進行詳細說明。

如圖1所示，一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，包括底座2，底座2和分隔板6是可分離可拆卸的，底座2和分隔板6連接組合后形成橫向和縱向各有三排格子1，每個格子1內除蒸鍍長條4外都被底座2遮擋，因此格子1之間的分隔板6的位置和數目并不會影響到電極的形狀，格子1的大小通過控制分隔板6的位置和數目來調控，既有效地容納尺寸偏大或者存在凸出尖角的玻璃基片,也合理地固定尺寸偏小的基片。

所述的底座2外欄上每兩個格子1之間設計六個放置分隔板6的第一凹槽3，如圖2所示,其中三個位于1/3邊長處，另外三個位于2/3邊長處。這些第一凹槽3作為固定橫向分隔板6a和縱向分隔板6b的卡槽。

如圖3所示，每個橫向分隔板6a、縱向分隔板6b上有六個第二凹槽5a、第三凹槽5b，其中三個位于1/3邊長處，另外三個位于2/3邊長處，第二凹槽5a、第三凹槽5b的深度等于分隔板6深度的一半。橫向分隔板6a具有朝上的第二凹槽5a，縱向分隔板6b具有朝下的第三凹槽5b。

本實用新型的工作原理為：

在掩膜板底座2上組裝分隔板6時，應先放置具有朝上第二凹槽5a的橫向分隔板6a，然后將具有朝下第三凹槽5b的縱向分隔板6b卡在先前放置的橫向分隔板6a的第二凹槽5a內。