[實用新型]一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板

有效

• 申請號: 201520320371.8
• 申請日: 2015-05-18
• 公開（公告）號: CN204714880U
• 公開（公告）日: 2015-10-21
• 發明（設計）人: 楊洋;秦校軍;趙志國;王一丹;鄔俊波
• 申請（專利權）人: 中國華能集團清潔能源技術研究院有限公司;中國華能集團公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賈玉健

1.一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，包括底座(2)，其特征在于：底座(2)和分隔板(6)是分離的，底座(2)和分隔板(6)連接組合后形成兩個以上的正方形或者長方形的格子(1)，每個格子(1)內除蒸鍍長條(4)外都被底座(2)遮擋，格子(1)的大小通過控制分隔板(6)的位置和數目來調控。

2.根據權利要去1所述的一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，其特征在于：所述的格子(1)之間留有兩個以上的組裝分隔板(6)的安裝位置。

3.根據權利要去1所述的一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，其特征在于：所述的底座(2)外欄上每兩個格子(1)之間設計兩個以上的放置分隔板(6)的第一凹槽(3)。

4.根據權利要去1所述的一種用于太陽能電池電極真空蒸鍍的掩膜板，其特征在于：所述的分隔板(6)分為橫向分隔板(6a)和縱向分隔板(6b),其中橫向分隔板(6a)具有朝上的第二凹槽(5a)，縱向分隔板(6b)具有朝下的第三凹槽(5b)，第二凹槽(5a)、第三凹槽(5b)的深度等于分隔板(6)深度的一半，兩類分隔板(6)都被安放到底座(2)上，并且通過第一凹槽(3)固定。