[實用新型]磁性靶材裝置

有效

• 申請號: 201520313048.8
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN204644457U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 葉崇宇;蘇暉家;葉承朋;張倧偉;黃琬瑜;盧木森;黃一原
• 申請（專利權）人: 凌嘉科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜工具，特別是涉及一種磁性靶材裝置。

背景技術

目前常見的鍍膜制程是在真空腔體中形成電漿，通過磁場引導電漿轟擊濺鍍靶，使濺鍍靶的材料在待鍍物上形成薄膜。在以前，濺鍍靶多采用非磁性金屬制成，但隨著科技進步，也隨之產生磁性金屬薄膜的需求，但，若用磁性金屬制作的濺鍍靶，會干擾磁場導引電漿，而產生不良影響。

參閱圖1，美國公告專利第4412907號公開的一種由磁性金屬制成的濺鍍靶裝置，包含一個背板11、一個設置于該背板11的濺鍍靶12及一個能提供磁場的磁場單元13。

為了能使該磁場單元13的磁場能夠傳達至該濺鍍靶12的表面121，該濺鍍靶12設置有多個導磁通道14，使得磁場能從所述導磁通道14穿過所述濺鍍靶12到達表面121，以導引電漿。每一個導磁通道14具有一個曲折段141，以避免電漿穿過該導磁通道14轟擊該背板11，造成濺鍍薄膜的純度受影響，因此，該曲折段141的長度及該濺鍍靶12的厚度比值就是影響濺鍍質量的重要參數。

在該美國專利公開的濺鍍靶裝置中，該曲折段141長度與該濺鍍靶12厚度的比值實質上只有0.25，可以理解的是，比值小表示該曲折段141的長度相對較短，表示雖然磁場容易傳達至表面121但相對的電漿也容易通過該導磁通道14轟擊該背板11，因此，0.25并非是較佳的比值。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種能有效濺鍍磁性金屬薄膜且不易混入雜質的磁性靶材裝置。

本實用新型的磁性靶材裝置，包含一個背板及一個濺鍍靶。

該背板由非磁性金屬制成。

該濺鍍靶由磁性金屬制成并包括一個設置于該背板的基底面、一個相反于該基底面的轟擊面，及至少一個由該轟擊面貫通至該基底面的導磁通道，該基底面至該轟擊面的直線距離能定義一個靶材厚度，該導磁通道包括一個由該轟擊面朝該背板方向延伸的第一導磁段、一個連通該第一導磁段并與該第一導磁段形成一個第一夾角延伸的第二導磁段，及一個連通該第二導磁段并與該第二導磁段形成一個第二夾角地朝該背板延伸的第三導磁段，該基底面至該轟擊面的直線距離能定義一個靶材厚度，該第二導磁段具有一個延伸長度，該延伸長度與該靶材厚度的比值不小于0.3且不大于1，該第一夾角及該第二夾角均大于0°且小于180°。

本實用新型的磁性靶材裝置，該導磁通道呈環形地將該濺鍍靶切割成多個靶區塊。

本實用新型的磁性靶材裝置，該濺鍍靶包括多個導磁通道，所述導磁通道分別呈環形且彼此相間隔地將該濺鍍靶切割成多個靶區塊，每一個導磁通道圍繞至少一個靶區塊。

本實用新型的磁性靶材裝置，每一個導磁通道的該第一導磁段及該第三導磁段分別垂直于該轟擊面及該背板。

本實用新型的磁性靶材裝置，該第一夾角及該第二夾角彼此的角度相等。

本實用新型的磁性靶材裝置，該第一夾角及該第二夾角的角度為90°。

本實用新型的磁性靶材裝置，該第一夾角及該第二夾角的角度大于0°且小于90°。

本實用新型的磁性靶材裝置，該第一夾角及該第二夾角的角度大于90°且小于180°。

本實用新型的有益效果在于：通過調整該延伸長度與該靶材厚度的比值，能夠在濺鍍時能避免該背板被電漿轟擊，而影響鍍膜純度，還能夠有效傳導磁場以導引電漿轟擊該濺鍍靶的轟擊面。

附圖說明

本實用新型的其他的特征及功效，將于參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：

圖1是一個剖視圖，說明現有的一種磁性濺鍍靶；

圖2是一個上視圖，說明本實用新型磁性靶材裝置的一個實施例的兩個導磁通道呈環形設置；

圖3是一個剖視圖，說明該實施例的所述導磁通道的內部形態；

圖4是一個圖3的局部放大圖，說明其中一個導磁通道的第一、第二及第三導磁段分別形成直角、該第二導磁段的延伸長度，及一個靶材厚度；

圖5是一個類似圖3的視圖，說明本實用新型磁性靶材裝置的一個第二實施例；

圖6是一個類似圖4的視圖，說明該第一、第二及第三導磁段分別形成一個鈍角；

圖7是一個類似圖3的視圖，說明本實用新型磁性靶材裝置的一個第二實施例；

圖8是一個類似圖4的視圖，說明該第一、第二及第三導磁段分別形成一個銳角。

具體實施方式

在本實用新型被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。