[實用新型]磁性靶材裝置

有效

• 申請號: 201520313048.8
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN204644457U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 葉崇宇;蘇暉家;葉承朋;張倧偉;黃琬瑜;盧木森;黃一原
• 申請（專利權）人: 凌嘉科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

1.一種磁性靶材裝置，包含：

一個背板，由非磁性金屬制成；

一個濺鍍靶，由磁性金屬制成并包括一個設置于該背板的基底面、一個相反于該基底面的轟擊面，及至少一個由該轟擊面貫通至該基底面的導磁通道，該導磁通道具有一個由該轟擊面朝該背板方向延伸的第一導磁段、一個連通該第一導磁段并與該第一導磁段形成一個第一夾角延伸的第二導磁段，及一個連通該第二導磁段并與該第二導磁段形成一個第二夾角地朝該背板延伸的第三導磁段；

其特征在于：

該基底面至該轟擊面的直線距離能定義一個靶材厚度，該第二導磁段具有一個延伸長度，該延伸長度與該靶材厚度的比值不小于0.3且不大于1，該第一夾角及該第二夾角均大于0°且小于180°。

2.根據權利要求1所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該導磁通道呈環形地將該濺鍍靶切割成多個靶區塊。

3.根據權利要求1所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該濺鍍靶包括多個導磁通道，所述導磁通道分別呈環形且彼此相間隔地將該濺鍍靶切割成多個靶區塊，每一個導磁通道圍繞至少一個靶區塊。

4.根據權利要求3所述的磁性靶材裝置，其特征在于：每一個導磁通道的該第一導磁段及該第三導磁段分別垂直于該轟擊面及該背板。

5.根據權利要求4所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該第一夾角及該第二夾角彼此的角度相等。

6.根據權利要求5所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該第一夾角及該第二夾角的角度為90°。

7.根據權利要求5所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該第一夾角及該第二夾角的角度大于0°且小于90°。

8.根據權利要求5所述的磁性靶材裝置，其特征在于：該第一夾角及該第二夾角的角度大于90°且小于180°。