[實用新型]半導體器件校正裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520298025.4 | 申請日: | 2015-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN204651299U | 公開(公告)日: | 2015-09-16 |
| 發(fā)明(設計)人: | 龍超祥;黎前軍 | 申請(專利權)人: | 深圳市復德科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271 | 代理人: | 孫大勇 |
| 地址: | 518103 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體器件 校正 裝置 | ||
1.一種半導體器件校正裝置,其特征是:包括設置在左側的第一旋轉夾(10)、右側的第二旋轉夾(20)以及置于所述第一旋轉夾(10)和第二旋轉夾(20)的夾口的定位座(30),在所述定位座(30)的中部設置有彈性頂針(40),所述彈性頂針(40)穿過所述定位座(30)。
2.根據權利要求1所述的半導體器件校正裝置,其特征是:還包括底座(50),所述第一旋轉夾(10)的下部設置有第一銷釘孔(11),第一銷釘孔內(11)設置有第一銷釘(12),所述第一銷釘(12)的兩端與所述底座(50)連接。
3.根據權利要求2所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述第二旋轉夾(20)的下部設置有第二銷釘孔(21),第二銷釘孔(21)內設置有第二銷釘(22),所述第二銷釘(22)的兩端與所述底座(50)連接。
4.根據權利要求3所述的半導體器件校正裝置,其特征是:在所述第一旋轉夾(10)的底面位于所述第一銷釘孔(11)的左側的位置設置有第一彈簧(13)。
5.根據權利要求4所述的半導體器件校正裝置,其特征是:在所述第二旋轉夾(20)的底面位于所述第二銷釘孔(21)的左側的位置設置有第二彈簧(23)。
6.根據權利要求2至5中任何一項所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述彈性頂針(40)包括頂針(41)和第三彈簧(42),所述第三彈簧(41)的一端抵觸在所述頂針(41)上、另一端抵觸在所述第一旋轉夾(10)或者第二旋轉夾(20)上。
7.根據權利要求6所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述頂針(41)包括最上方的支撐部(411)以及最下方的彈簧安裝部(413)。
8.根據權利要求7所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述頂針(41)還包括設置在所述支撐部(411)與彈簧安裝部(413)之間的阻擋部(412),所述阻擋部(412)的橫截面積大于所述支撐部(411)的橫截面積,所述阻擋部(412)的橫截面積也大于所述彈簧安裝部(413)的橫截面積。
9.根據權利要求8所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述第三彈簧(42)抵觸在所述阻擋部(412)的下端面上。
10.根據權利要求9所述的半導體器件校正裝置,其特征是:所述底座(50)與旋轉機構連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





