[實用新型]閥組件和真空室組件

有效

• 申請號: 201520295458.4
• 申請日: 2015-05-08
• 公開（公告）號: CN204768573U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 約亨·克勞瑟;米夏埃爾·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 馮·阿登納有限公司
• 主分類號: B01J3/03
• 分類號: B01J3/03;C23C14/56;F16K15/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 劉明海;楊生平

1.一種閥組件(100)，用于密封真空室殼體(302)的基體-轉運-開口(302o)，該閥組件(100)具有：

閥蓋(102)，其具有第一端部(112a)、第二端部(112b)以及在兩個端部(112a，112b)之間的密封部(102d)；

軸承-組件(104)，用于在打開位置與閉合位置之間可旋轉地支承閥蓋(102)；

其中，軸承-組件(104)僅與閥蓋(102)的兩個端部(112a，112b)聯接；以及

其中，密封部(102d)被設置成，用于將基體-轉運-開口(302o)密封在閥蓋(102)的閉合位置上。

2.根據權利要求1所述的閥組件(100)，

其中，軸承-組件(104)具有第一可旋轉地被支承的旋轉臂(104a)和第二可旋轉地被支承的旋轉臂(104b)，其中，第一可旋轉地被支承的旋轉臂(104a)被固定在第一端部(112a)上，且其中，第二可旋轉地被支承的旋轉臂(104b)被固定在第二端部(112b)上。

3.根據權利要求2所述的閥組件(100)，

其中，軸承-組件(104)這樣地被固定在端部(112a，112b)上，即，在閥蓋(102)的閉合位置上，第一端部(112a)在第一可旋轉地被支承的旋轉臂(104a)與真空室殼體(302)之間延伸，且第二端部(112b)在第二可旋轉地被支承的旋轉臂(104b)與真空室殼體(302)之間延伸。

4.根據權利要求2所述的閥組件(100)，

其中，軸承-組件(104)這樣地被設置，即，可旋轉地被支承的旋轉臂(104a，104b)分別是分開可運動的和/或可設置的。

5.根據權利要求1所述的閥組件(100)，

其中，密封部(104d)具有密封唇，且其中，密封唇這樣地被設置，即，密封唇在閥蓋(102)的閉合位置上完全密封在閥蓋(102)與真空室殼體(302)的包圍基體-轉運-開口(302o)的密封面(302d)之間的縫隙。

6.根據權利要求1所述的閥組件(100)，

其中，密封部(102d)限定閥蓋(102)的密封面(102f)；以及

其中，閥蓋(102)具有用于將閥蓋(102)彎曲的彎曲結構(106)，其中，該彎曲結構(106)這樣地被設置，即當閥蓋(102)彎曲時密封面(102f)的曲率改變。

7.一種真空室組件(300,400,500)，具有：

帶有基體-轉運-開口(302o)的真空室殼體(302)；以及

根據權利要求1至6中任一項所述的閥組件(100)。

8.根據權利要求7所述的真空室組件(300,400,500)，

其中，真空室殼體(302o)具有包圍基體-轉運-開口(302o)的密封面(302d)，其中，閥組件(100)相對于真空室殼體(302)這樣地被布置，即，閥組件(100)在閉合位置上通過密封部(102d)擠壓真空室殼體(302)的密封面(302d)。

9.根據權利要求7所述的真空室組件(300,400,500)，此外具有：

運輸裝置(304)，用于將基體(308)運輸通過真空室殼體(302)的基體-轉運-開口(302o)，

其中，閥組件(100)這樣地被設置且相對于真空室殼體(302)地被布置，即，在閥組件(100)的打開位置上，基體(308)可被運輸通過真空室殼體(302)的基體-轉運-開口(302o)。