[實用新型]一種顯影裝置

有效

• 申請號: 201520292722.9
• 申請日: 2015-05-08
• 公開（公告）號: CN204694991U
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發明（設計）人: 石孟陽;崔興永;莊奎乾;謝慶豐
• 申請（專利權）人: 深圳市科利德光電材料股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市弘拓知識產權代理事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 李新梅

技術領域

本實用新型涉及顯影蝕刻，特別是涉及一種顯影裝置。

背景技術

現有顯影技術通常有兩種，一種是將光罩置于顯影槽內，人工晃動光罩；另一種是采用專門的噴淋線，將顯影液通過噴嘴霧化后噴灑在光罩上。第一種方式受操作人員的影響，效果不可控；第二種方式雖然便于控制，但噴淋線價格昂貴，成本高；另外，噴淋線適合一次對大批量的產品進行作業，對小規模生產并不適用。

發明內容

有鑒于此，提供一種成本低且效果好的顯影裝置。

一種顯影裝置，包括機架、設置于機架上的液槽以及載臺，所述載臺用于承載光罩，所述液槽用于向光罩排放顯影液，所述液槽在其頂部形成有溢流口供顯影液溢出，所述載臺與溢流口間隔設置，載臺在其朝向溢流口的一側形成有若干臺階，使用時光罩的兩側分別搭載在溢流口以及載臺的其中一臺階上，所述各臺階具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭載在不同高度的臺階使光罩保持水平。

相較于現有技術，本實用新型本實用新型顯影裝置結構簡單、成本低廉；顯影液通過溢流口向外溢流，其流動穩定、時間確定、操作可控，效果穩定；通過載臺的臺階對不同規格的光罩形成支撐，保證光罩水平，產品通用性好。

附圖說明

以下將結合附圖及具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

圖1為本實用新型顯影裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型顯影裝置的使用狀態示意圖。

圖3為圖2的剖視圖。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型顯影裝置包括機架10、設置于顯影臺上的液槽20、及載臺30。

所述機架10具有一水平的承載面12，所述液槽20位于機架10上，具有一注液口以及一溢流口22。所述注液口用于向液槽20內注入顯影液，其可與一閥門（圖未示）連接，以控制注入液槽20內的顯影液的流量。所述溢流口22形成于液槽20的頂部，高于機架10的承載面12。當液槽20內注滿顯影液時，隨著顯影液的不斷注入，顯影液由所述溢流口22向外溢出液槽20，顯影液溢出液槽20的速度與注入液槽20的速度相當，如此通過閥門控制顯影液注入液槽20的速度即可控制顯影液由溢流口22溢出的速度，進而根據顯影液溢出的速度即可設定顯影的時間。

所述載臺30用于承載光罩40，設置于機架10的承載面12上并與液槽20的溢流口22間隔設置。使用時，如圖2及圖3所示，光罩40的一側搭載在液槽20的溢流口22上，光罩40的相對另一側則搭載在所述載臺30上，整個光罩40呈水平設置，顯影液由溢流口22溢出后順著光罩40的表面流動，在達到設定的時間后，顯影液自動關停。由于顯影液的溢出速度可以很好的控制，顯影液在光罩40的表面流動時速度均勻，在光罩40的表面上形成一層膜面，達到顯影刻蝕的效果。在整個過程中，操作人員可以直接觀察光罩40表面膜面的變化，判斷顯影刻蝕的精度。

較佳地，本實施例中，所述載臺30面向溢流口22的一側形成有多個臺階32，不同的臺階32位于不同的水平高度，相鄰的臺階32在豎直方向上具有一定的高度差，所述高度差可以根據光罩40的厚度設定，如常用的光罩有3.0mm、4.8mm、7.8mm等不同的厚度規格，若某一級的臺階32承載3.0mm厚度的光罩，下一臺階32用于承載4.8mm的光罩，這兩級臺階32的高度差即為兩光罩的厚度差，1.8mm，如此保證不同厚度規格的光罩40裝載在本實用新型的顯影裝置上之后，其表面始終保持水平，保證顯影作業的效果。另外，所述載臺30可以在機架10的承載面12上滑動，遠離或靠近所述溢流口22，如此調整兩者之間的而艱巨，以適應不同寬度的光罩40。

綜上，本實用新型顯影裝置結構簡單、成本低廉；顯影液通過溢流口22向外溢流，其流動穩定、時間確定、操作可控，效果穩定。另外，通過載臺30的臺階32以及載臺30的移動對不同厚度、寬度的光罩40形成支撐，保證光罩40水平，產品通用性好。需要說明的是，本實用新型并不局限于上述實施方式，根據本實用新型的創造精神，本領域技術人員還可以做出其他變化，這些依據本實用新型的創造精神所做的變化，都應包含在本實用新型所要求保護的范圍之內。