[實用新型]一種顯影裝置

有效

• 申請號: 201520292722.9
• 申請日: 2015-05-08
• 公開（公告）號: CN204694991U
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發明（設計）人: 石孟陽;崔興永;莊奎乾;謝慶豐
• 申請（專利權）人: 深圳市科利德光電材料股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市弘拓知識產權代理事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 李新梅

1.一種顯影裝置，包括機架、設置于機架上的液槽以及載臺，所述載臺用于承載光罩，所述液槽用于向光罩排放顯影液，其特征在于：所述液槽在其頂部形成有溢流口供顯影液溢出，所述載臺與溢流口間隔設置，載臺在其朝向溢流口的一側形成有若干臺階，使用時光罩的兩側分別搭載在溢流口以及載臺的其中一臺階上，所述各臺階具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭載在不同高度的臺階使光罩保持水平。

2.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述液槽的注液口設置有閥門控制顯影液的流速。

3.如權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述載臺可滑動地設置于機架上以調整載臺與溢流口之間的距離，適應不同寬度的光罩。